[发明专利]沉积方法

权利要求书

1、在浮法玻璃生产过程中将包含氧化锌的镀膜沉积到连续玻璃带的表面上 的方法，其包括形成包含具有通式R₂Zn、且其中R表示包含1到4个碳原子的 烷基的二烷基锌化合物和含氧有机化合物的流体混合物，在玻璃的温度处于 500℃到700℃的范围内时使所述的混合物与玻璃带的表面相接触。

2、依照权利要求1的方法，其特征在于R表示乙基。

3、依照权利要求1的方法，其特征在于R表示甲基。

4、依照权利要求1至3的任一项的方法，其特征在于含氧有机化合物是醇 或者羧酸酯。

5、依照权利要求4的方法，其特征在于该有机化合物是具有通式 R′-C(O)-O-C(XX′)-C(YY′)-R″的酯，其中R′和R″可以相同或不同，表示氢原子 或包含1到10个碳原子的烷基；X和X′、Y和Y′可以相同或不同，表示氢原子 或包含1到4个碳原子的烷基，附带条件是Y或Y′中的至少一个表示氢原子。

6、依照权利要求5的方法，其特征在于R′表示包含1到4个碳原子的烷基。

7、依照权利要求6的方法，其特征在于R′表示乙基。

8、依照前面权利要求任一项的方法，其特征在于含氧有机化合物是包含1 到6个碳原子的脂族醇。

9、依照权利要求8的方法，其特征在该有机化合物是包含2到4个碳原子 的脂族醇。

10、依照前面权利要求任一项的方法，其特征在于含氧有机化合物选自于 甲酸乙酯、乙酸乙酯、丙酸乙酯、丁酸乙酯、甲酸正丙酯、乙酸正丙酯、丙酸 正丙酯、丁酸正丙酯、甲酸异丙酯、乙酸异丙酯、丙酸异丙酯、丁酸异丙酯、 甲酸正丁酯、乙酸正丁酯、乙酸仲丁酯、乙酸叔丁酯、乙醇、丙醇、异丙醇、 正丁醇、异丁醇和叔丁醇。

11、依照前面权利要求任一项的方法，其特征在于玻璃带的温度是在500 ℃到650℃的范围内。

12、依照权利要求11的方法，其特征在于该玻璃的温度是在600℃到650 ℃的范围内。

13、依照前面权利要求任一项的方法，其特征在于将氧化锌镀膜直接沉积 在玻璃带上。

14、依照权利要求1至12的任一项的方法，其特征在于该镀膜是包含有于 氧化锌沉积之前沉积在玻璃带上的氧化硅层的镀膜。

15、依照权利要求1至12和14的任一项的方法，其特征在于将包含氧化 锡的镀膜于氧化锌沉积之前沉积到玻璃带上。

16、依照前面权利要求任一项的方法，其特征在于氧化锌镀膜是掺杂的氧 化锌镀膜，以及流体混合物进一步包括微小比例的掺杂物前体。

17、依照权利要求16的方法，其特征在于该掺杂物选自钼、氟和铝。

18、依照前面权利要求任一项的方法，其特征在于氧化锌镀膜是在200到 500/秒的速率下被沉积。

19、依照前面权利要求任一项的方法，其特征在于所沉积的氧化锌镀膜的 厚度是在200到5000的范围内。

20、在一个表面上具有包含氧化锌层的镀膜的连续玻璃带，其特征在于该 层具有低于500微欧厘米的电阻率。

21、依照权利要求20的玻璃带，其特征在于该氧化锌层包含掺杂物。

22、依照权利要求20或21的玻璃带，其特征在于该掺杂物选自钼、氟和 铝。

23、依照权利要求20至22的任一项的玻璃带，其特征在于该氧化锌层的 电阻率低于350微欧厘米。