[发明专利]有关未被抽样的工件的数据表示

权利要求书

1、一种方法，包含下列步骤：

接收与第一工件有关的所测量的量测数据；以及

根据与该第一工件有关的该量测数据，而求与第二工件对应的量测数据的近似值，以便提供与该第二工件有关的预计量测数据。

2、如权利要求1所述的方法，进一步包含下列步骤：处理后续的工件。

3、如权利要求1所述的方法，其中接收与该第一工件有关的线上数据的步骤包含下列步骤：接收与对该第一工件执行的制程有关的量测数据。

4、如权利要求1所述的方法，其中求与第二工件对应的量测数据的近似值的步骤包含下列步骤：将有关对该第一及第二工件执行的制程以及与该制程有关的线上数据值的关系模型化。

5、如权利要求4所述的方法，还包含下列步骤：执行统计分析以决定与该预计线上数据有关的信心水准。

6、如权利要求1所述的方法，进一步包含下列步骤：根据实际量测数据及该预计量测数据而执行与该第一及该第二工件有关的制程后分析。

7、如权利要求4所述的方法，其中求与该第二工件对应的量测数据的近似值的步骤包含下列步骤：使用该工具状态数据、线上测量数据、历史量测数据和工具变异数据中的至少一个，以便将对该第二工件的处理及与对该第二工件的处理有关的预计线上数据间的关系模型化。

8、如权利要求1所述的方法，进一步包含下列步骤：指定与该第二工件相关联的标记，其指示该预计量测数据与该第二工件相关联。

9、一种用于提供与未被抽样的工件相关联的数据表现的系统，其特征在于，所述系统包含：

数个工件；

量测工具(440)，用以自该数个工件中的样本工件取得量测数据；

控制器(310)，用以根据与该被抽样的工件有关的该量测数据，而求与该数个工件中的至少一个未被抽样的工件有关的对应量测数据的近似值，以便提供预计量测数据。

10、一种以指令编码的计算机可读取的程序存储装置，当计算机执行该指令时，该计算机可读取的程序存储装置执行一种方法，该方法包含下列步骤：

接收与第一工件有关的所测量的量测数据；以及

根据与该第一工件有关的该量测数据，而求与第二工件对应的量测数据的近似值，以便提供与该第二工件有关的预计量测数据。