[发明专利]树脂组合物、清漆、树脂膜及半导体装置无效

专利信息
申请号: 200680034838.6 申请日: 2006-09-21
公开(公告)号: CN101268119A 公开(公告)日: 2008-09-17
发明(设计)人: 榎尚史;和泉笃士;冲博美;小野幸治;藤田一义 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: C08G73/22 分类号: C08G73/22;C09D5/25;C09D179/04;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 高龙鑫
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 树脂 组合 清漆 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种树脂组合物,其特征在于,其包括:下述苯并噁唑树脂前驱体以及下述交联剂,

(1)苯并噁唑树脂前驱体

该苯并噁唑树脂前驱体具有第一重复单元,该第一重复单元由双氨酚化合物与二羧酸化合物反应而得到且具有从以金刚烷结构为最小单元的结构单元中选出的钻石形结构,

该第一重复单元选自下述(a)、(b)、(c)中的一种或两种以上:

(a)具有钻石形结构的双氨酚化合物与不具有钻石形结构的二羧酸化合物反应而得到的重复单元,

(b)不具有钻石形结构的双氨酚化合物与具有钻石形结构的二羧酸化合物反应而得到的重复单元,

(c)具有钻石形结构的双氨酚化合物与具有钻石形结构的二羧酸化合物反应而得到的重复单元,

为了得到该第一重复单元,在使用上述具有钻石形结构的双氨酚化合物时,使用从双氨酚骨架内具有钻石形结构的双氨酚化合物以及在双氨酚骨架上直接或通过其它的原子间接结合有钻石形结构的双氨酚化合物中选出的双氨酚化合物,

为了得到该第一重复单元,在使用上述具有钻石形结构的二羧酸化合物时,使用从二羧酸骨架内具有钻石形结构的二羧酸化合物以及在二羧酸骨架上直接或通过其它的原子间接结合有钻石形结构的二羧酸化合物中选出的二羧酸化合物;

(2)交联剂

该交联剂一分子中至少包含两个以上在交联剂彼此之间发生交联反应的具有炔键的基团,且具有从以金刚烷结构为最小单元的结构单元中选出的钻石形结构。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,上述具有第一重复单元的苯并噁唑树脂前驱体还具有由不具有钻石形结构的双氨酚化合物与不具有钻石形结构的二羧酸化合物反应而得到的第二重复单元。

3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,上述第一重复单元及交联剂中的至少一种,具有同时具有钻石形结构以及该钻石形结构以外的官能性部位的具有炔键的官能团;上述第一重复单元及交联剂具有的上述钻石形结构中的至少一个作为该官能团的一部分存在。

4.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,上述第一重复单元或第二重复单元中的一种或两种含有的上述不具有钻石形结构的双氨酚化合物及/或不具有钻石形结构的二羧酸化合物具有上述钻石形结构以外的具有炔键的官能团。

5.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,上述钻石形结构为选自由金刚烷基、二联金刚烷基、三联金刚烷基、四联金刚烷基、五联金刚烷基、六联金刚烷基、七联金刚烷基、八联金刚烷基、九联金刚烷基、十联金刚烷基、十一联金刚烷基、双金刚烷基、三金刚烷基、四金刚烷基、五金刚烷基、六金刚烷基、七金刚烷基、八金刚烷基、九金刚烷基、十金刚烷基、以及十一金刚烷基所组成的组中的至少一个基团。

6.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,上述钻石形结构具有烷基及/或氟烷基。

7.根据权利要求4所述的树脂组合物,其特征在于,上述交联剂与第一重复单元及/或第二重复单元具有的形成交联键的具有炔键的官能团之间发生交联反应。

8.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,上述具有钻石形结构的二羧酸为金刚烷二羧酸、双金刚烷二羧酸及/或四金刚烷二羧酸。

9.根据权利要求2所述的树脂组合物,其中,上述苯并噁唑树脂前驱体是包括上述权利要求1中限定的第一重复单元与上述权利要求2中限定的第二重复单元的共聚物。

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