[发明专利]促动器

权利要求书

1、一种促动器，具备：第1可动部、支持所述第1可动部的第2可 动部、和支持所述第2可动部的固定部，

所述第2可动部，具备：

用于向所述第1可动部供给第1电压的第1导电部、

被供给第2电压的第2导电部、以及

在电性绝缘状态下将所述第1导电部与所述第2导电部相互固定的衬 底部。

2、如权利要求1所述的促动器，其特征在于：所述第1可动部，具 备反射光的反射镜部；

所述衬底部，从所述促动器的与设置有所述反射镜部的面相反一侧的 面，固定所述第1导电部与所述第2导电部。

3、如权利要求1所述的促动器，其特征在于：通过在所述第2可动 部的所述第1导电部与所述第2导电部之间形成的槽，将所述第1导电部 与所述第2导电部电性绝缘。

4、如权利要求3所述的促动器，其特征在于：在对于所述第2可动 部上的所述槽而言点对称的位置，形成虚设槽。

5、如权利要求1所述的促动器，其特征在于：所述第1可动部及第 2可动部，是通过腐蚀经绝缘层接合第1及第2硅层的SOI晶片的所述第 1硅层后形成的；

所述衬底部，是通过腐蚀所述第2硅层后形成的。

6、如权利要求1所述的促动器，其特征在于：所述第1可动部，具 备第1及第2梳型电极，该第1及第2梳型电极用于产生使所述第1可动 部相对于所述第2可动部而言进行相对变位的驱动力；

所述第1梳型电极，向垂直于所述第1可动部的转动轴的方向延伸；

所述第2梳型电极，向与所述第1可动部的转动轴平行的方向延伸；

所述第2可动部，具备第3及第4梳型电极，该第3及第4梳型电极 用于产生使所述第2可动部相对于所述固定部而言进行相对变位的驱动 力；

所述第3梳型电极，向垂直于所述第2可动部的转动轴的方向延伸；

所述第4梳型电极，向与所述第2可动部的转动轴平行的方向延伸。

7、一种促动器的制作方法，用于制作权利要求1所述的促动器，

所述制作方法，包含：

通过腐蚀经绝缘层接合第1及第2硅层的SOI晶片的所述第1硅层后 形成所述第1及第2可动部的步骤；和

腐蚀所述第2硅层，形成所述衬底部的步骤。

8、如权利要求7所述的促动器的制作方法，其特征在于：形成所述 衬底部的步骤，包含：

形成抗蚀剂图案的步骤，该抗蚀剂图案用于所述第2硅层的形成所述 衬底部的位置的掩模；

腐蚀所述第2硅层，直至作为所述衬底部残留的所述第2硅层的厚度 量的深度的步骤；

剥离所述抗蚀剂图案，腐蚀所述第2硅层，直至所述绝缘层在形成所 述衬底部的位置以外的位置露出的步骤；以及

去除所述绝缘层的露出部分的步骤。