[发明专利]促动器

说明书

技术领域

[0001]

本发明涉及促动器，特别涉及2轴转动型的共振反射镜元件。本发明 的应用微型机械加工技术的共振反射镜元件，例如被用于激光打印机等使 用的光扫描装置、硬盘阅读器等读取装置、激光投影仪等。

背景技术

[0002]

在用微型机械加工技术形成的振动反射镜元件中，例如反射镜部被用 在同一条直线上设置的两个铰链支持着。在与反射镜部相对的位置，设置 电极。在反射镜部与电极之间产生的静电引力的作用下，反射镜部将两个 铰链作为扭转旋转轴，往复振动。

[0003]

这种振动反射镜元件，与用电动机使多晶硅反射镜转动的反射镜元件 相比，结构简单，可以在半导体制造工艺中一次形成，所以容易小型化， 制造成本也低。另外，振动反射镜元件因为具有单一的反射面，所以没有 具有多个面的多晶硅反射镜的那种精度的离差。另外，因为振动反射镜元 件的动作是往复振动，所以还能够满足高速化的要求。

[0004]

专利文献1公开了1轴转动型的反射镜元件，而非专利文献1公开了 2轴转动型的反射镜元件。

[0005]

1轴转动型的反射镜元件的可动部，是用铰链支持的反射镜部。可动 部和固定部，被用分离槽分离，给反射镜部外加驱动电压后，产生静电引 力，用该静电引力驱动反射镜部。

[0006]

在2轴转动型的反射镜元件中，中间框通过铰链，支持反射镜部，固 定部进而通过铰链，支持中间框，反射镜部和中间框部，构成可动部。

[0007]

下面，参照图10，讲述2轴转动型的反射镜元件。图10是表示2轴 转动型的共振反射镜元件51的立体图。

[0008]

共振反射镜元件51，具备具有反射镜面的第1可动部55、支持第1可 动部55的第2可动部56和支持第2可动部56的固定部63。

[0009]

共振反射镜元件51，进而具备X铰链57及Y铰链58。第2可动部 56，通过Y铰链58作媒介，连接支持第1可动部55。第1可动部55将通 过向图10中的Y方向延伸的Y铰链58的轴作为转动轴，对于第2可动部 56而言，可以在Y铰链58的周围转动。固定部63，通过X铰链57作媒 介，连接支持第2可动部56。第2可动部56将通过向图10中的X方向延 伸的X铰链57的轴作为转动轴，对于固定部63而言，可以在X铰链57 的周围转动。

[0010]

第1可动部55，在其外周部具备X梳型电极59a，该X梳型电极59a 产生使第1可动部55对于第2可动部56而言相对变位的驱动力。第2可 动部56，在其外周部具备Y梳型电极61a，该Y梳型电极61a产生使第2 可动部56对于固定部63而言相对变位的驱动力。

[0011]

另外，在第2可动部56的内周部，形成和X梳型电极59a隔着间隙互 相啮合地相对的X梳型电极59b。在固定部63的内周部，形成和Y梳型电 极61a隔着间隙互相啮合地相对的Y梳型电极61b。

[0012]

如上所述，第1可动部55，对于第2可动部56而言，可以在Y铰链 58的周围转动地被支持着；第2可动部56，对于固定部63而言，可以在X 铰链57的周围转动地被支持着。从而能够实现2轴转动型的共振反射镜元 件51。

[0013]

第2可动部56，具备旨在向第1可动部55供给电压的第1导电部56a 和供给别的电压的第2导电部56b。在第1导电部56a和第2导电部56b之 间形成的分离槽64的作用下，第1导电部56a和第2导电部56b被分割， 互相电性绝缘。这样，能够分别独立地向第1导电部56a及第2导电部56b 外加驱动电压。

[0014]

图11是表示共振反射镜元件51的剖面图。该剖面图与图10的D-D 剖面对应。参照图11，向分离槽64堆积绝缘层，再埋入多晶硅，接合第1 导电部56a和第2导电部56b后，第1导电部56a和第2导电部56b就不会 分断。这样，第1导电部56a及第2导电部56b就作为第2可动部56一体 变位。

[0015]