[发明专利]MEMS装置及其互连

说明书

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2005年9月30日申请的第60/723,540号美国临时专利申请案的权益。

技术领域

本发明的领域涉及微机电系统(microelectromechanical system，MEMS)。更明确地说，本发明的领域涉及干涉式调制器及其电互连的制造方法。

背景技术

微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它去除衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例中，一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括通过气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品，将是有益的。

发明内容

本发明的系统、方法和装置每一者均具有若干方面，其中任何单个方面均不仅仅负责其期望的属性。在不限定本发明范围的情况下，现将简要论述其较突出的特征。考虑此论述之后，且尤其在阅读题为“具体实施方式”的部分之后，将了解本发明的特征如何提供优于其它显示器装置的优点。

一实施例提供一种微机电系统装置。所述装置包含：电极；可移动层；机械层，其在所述可移动层上；腔，其在所述电极与所述可移动层之间；导电层，其在所述电极与所述机械层之间；以及电互连，其在所述装置外部的电路与所述电极和所述可移动层的至少一者之间。所述电互连的至少一部分和导电层由相同材料形成。

根据另一实施例，提供一种形成微机电系统装置的方法。提供电极。在所述电极上提供导电层。接着图案化所述导电层以在所述装置外部的电路与所述电极和所述装置内的另一电极的至少一者之间形成电互连。在图案化所述导电层之后，在所述导电层上形成机械层。

根据又一实施例，提供一种形成微机电系统装置的方法。提供在衬底上的电极。在所述电极上形成可移动层。在所述可移动层上形成机械层。在所述电极与所述机械层之间沉积导电层。所述导电层的一部分形成所述装置外部的电路与所述电极和所述可移动层的至少一者之间的电互连的至少一部分。

在另一实施例中，提供一种微机电系统装置。所述装置包含：电极；可移动层；机械层，其在所述可移动层方；腔，其在所述电极与所述可移动层之间；以及电互连，其在所述装置外部的电路与所述电极和所述可移动层的至少一者之间。所述电互连的至少一部分和所述可移动层由相同材料形成。

根据另一实施例，提供一种形成微机电系统装置的方法。提供电极。在所述电极上沉积导电材料。在导电层上形成可移动层。在所述可移动层上沉积机械层。所述导电材料形成所述装置外部的电路与所述电极和所述可移动层的至少一者之间的电互连的至少一部分。在沉积所述机械层之后，选择性地去除所述导电材料以形成光学腔。

附图说明

从以下描述中以及从附图(未按比例)中将容易了解本发明的这些和其它方面，附图旨在说明而不限制本发明，且其中：

图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于激活位置。

图2是说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的图。

图4是可用于驱动干涉式调制器显示器的一组行和列电压的说明。

图5A和5B说明可用于将显示数据帧写入到图2的3×3干涉式调制器显示器的行和列信号的一个示范性时序图。

图6A和6B是说明包括多个干涉式调制器的视觉显示装置的实施例的系统框图。

图7A是图1的装置的横截面。

图7B是干涉式调制器的替代实施例的横截面。

图7C是干涉式调制器的另一替代实施例的横截面。

图7D是干涉式调制器的又一替代实施例的横截面。

图7E是干涉式调制器的额外替代实施例的横截面。