[发明专利]干涉测量的测量装置

权利要求书

1.用于具有第一干涉仪(10)和第二干涉仪(20)的干涉测量的测量装置(1)的设备，其中通过辐射源(30)向所述第一干涉仪(10)输送短相干的辐射(31)，所述辐射(31)通过第一辐射分配器(11.1)分为两个部分辐射(32.1、32.2)，并且其中光程长度在一个部分辐射(32.1、32.2)中长于在另一个部分辐射(32.1、32.2)中，使得光程差大于所述辐射(31)的相干长度，其中所述两个部分辐射(32.1、32.2)在所述第一干涉仪(10)的出口之前再度汇合并且输送给所述第二干涉仪(20)，该第二干涉仪(20)将所述辐射分为另外两个部分辐射(35.1、35.2)，其中这两个部分辐射(35.1、35.2)的光程长度不同，从而再度对在第一干涉仪(10)中写入的光程差进行补偿，其特征在于，可以通过至少一个活动的光学元件(13、23、50、60)来对所述第一和第二干涉仪(10、20)中的相应的部分辐射(32.1、35.1)的光程长度进行调节，并且所述活动的光学元件(13、23、50、60)以机械方式彼此相耦合。

2.按权利要求1所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，在所述第一及第二干涉仪(10、20)的两个部分辐射(32.1、35.1)中的光程长度的变化的符号相同或者相反，并且/或者在所述两个部分辐射(32.1、35.1)中的光程长度的变化的数值相同。

3.按权利要求1到2中任一项所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，所述活动的光学元件(13、23)安装在共同的支座(40)上。

4.按权利要求1到3中任一项所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，所述活动的光学元件(13、23)构造为平面镜、构造为三棱镜或者构造为用于光导元件的耦合元件。

5.按权利要求1到4中任一项所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，所述两个干涉仪(10、20)的活动的光学元件(13、23)集成在一个光学元件(50、60)中。

6.按权利要求5所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，所述集成的光学元件(50)设计为三棱镜(55)，该三棱镜(55)具有用于所述第一干涉仪(10)的辐射入口(51)和用于所述第二干涉仪(20)的辐射入口(52)以及用于所述第一干涉仪(10)的辐射出口(53)和用于所述第二干涉仪(20)的辐射出口(54)。

7.按权利要求5所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，将所述集成的光学元件(60)构造为具有在入口侧局部反射的表面(64)的三棱镜(65)，其中一个干涉仪(10、20)的具有分开的光路的部分辐射(32.1、35.1)经由辐射入口(61)和辐射出口(62)通过所述三棱镜(65)转向，并且另一个干涉仪(10、20)的具有上下叠放的光路的部分辐射(32.1、35.1)则在所述反射的表面(64)上转向。

8.按权利要求1到7中任一项所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，为移动所述活动的光学元件(13、23、50、60)，设置了手动驱动或马达驱动的线性驱动装置(41)。

9.按权利要求1到8中任一项所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，借助于光导体或作为自由辐射将辐射输入到所述干涉测量的测量装置(1)中，在所述两个干涉仪(10、20)之间进行光学连接和/或传播出射辐射。

10.按权利要求1到9中任一项所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，在所述两个干涉仪(10、20)中设置单独的活动的光学元件用于对在所述部分辐射(32.1、32.2；35.1、35.2)之间的光程差进行调节，并且以电子方式通过对电驱动元件的同类触发来使所述光学元件的运动相耦合。

11.按权利要求1到10中任一项所述的用于干涉测量的测量装置(1)的设备，其特征在于，所述第一干涉仪(10)是调制干涉仪，并且所述第二干涉仪(20)则构成基准干涉仪或者基准探针或者基准测量点。