[发明专利]干涉测量的测量装置有效

专利信息
申请号: 200680035993.X 申请日: 2006-09-15
公开(公告)号: CN101278170A 公开(公告)日: 2008-10-01
发明(设计)人: S·弗朗兹;M·弗莱斯彻 申请(专利权)人: 罗伯特·博世有限公司
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 曹若
地址: 德国斯*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 干涉 测量 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种用于具有第一干涉仪和第二干涉仪的干涉测量的测量装置的设备,其中通过辐射源向所述第一干涉仪输送短相干的辐射,所述辐射通过第一辐射分配器分为两个部分辐射,并且其中光程长度在一个部分辐射中如此长于在另一个部分辐射中,使得光程差大于所述辐射的相干长度,其中所述两个部分辐射在所述第一干涉仪的出口之前再度汇合并且输送给所述第二干涉仪,该第二干涉仪将所述辐射分为另外两个部分辐射,其中这两个部分辐射的光程长度如此不同,从而再度对在第一干涉仪中写入的光程差进行补偿。

此外,本发明涉及一种用于在具有两个先后相随的干涉仪的干涉测量的测量装置中对光程差进行补偿的方法,其中通过辐射源向第一个干涉仪输送短相干的辐射,所述辐射通过第一辐射分配器分为两个部分辐射,这两个部分辐射中的其中一个部分辐射比另一个部分辐射如此经过一个更大的光程长度,使得在所述部分辐射之间的光程差大于所述辐射的相干长度,其中所述两个部分辐射在所述第一干涉仪的出口之前再度汇合并且输送给所述第二干涉仪,该第二干涉仪将所述辐射分为另外两个部分辐射,其中这两个部分辐射的光程长度如此不同,从而再度对在第一干涉仪中写入的光程差进行补偿。

背景技术

在文献DE 102 44 553中示出了一种这样的干涉测量的测量装置。该文献公开了一种用于对测量目标的表面的形状、粗糙度或间距进行检测的干涉测量的测量装置,该测量装置具有调制干涉仪、与所述调制干涉仪在空间上分开的并且通过光导纤维装置与该调制干涉仪相耦合或可以耦合的测量用探针、接收装置和分析单元,其中在此由辐射源向所述调制干涉仪输送短相干的辐射并且该调制干涉仪具有用于将所输送的辐射分为通过第一支臂导送的第一部分辐射和通过第二支臂导送的第二部分辐射的第一辐射分配器,在所述部分辐射中其中一个部分辐射借助于调制装置相对于另一个部分辐射移动其光相位或光频率并且经过一段延迟段,并且这两个部分辐射随后在所述调制干涉仪的另一个辐射分配器中汇合,并且其中在所述测量用探针中所述汇合的部分辐射分为通过具有倾斜的目标侧的出口表面的探针-光导纤维单元来导送到表面处的测量辐射和基准辐射并且在所述测量用探针中所述在表面上被反射的测量辐射(r1(t))以及在基准平面上被反射的基准辐射(r2(t))相叠加,并且其中所述分析单元用于将输送给其本身的辐射转换为电信号并且用于在相位差的基础上对所述信号进行分析。在此,所述出口表面相对于光学的探针轴线的法线的倾角(y)至少为46°。

DE 198 08 273也说明了一种这样的用于对尤其粗糙的表面的形状或间距进行检测的干涉测量的测量装置,该测量装置具有至少一个在空间上相干的辐射产生单元、用于对光相位进行调制或者用于使第一部分辐射的光频率(外差频率)相对于第二部分辐射的光相位或光频率进行移动的装置以及分析装置,其中所述辐射产生装置的辐射在测量用探针中分为通过测量基准分支导送的并且在其中被反射的基准测量辐射以及通过测量分支导送的并且在粗糙的表面上被反射的测量辐射,并且其中所述用于对光相位进行调制或者用于使第一部分辐射的光频率(外差频率)相对于第二部分辐射的光相位或光频率进行移动的装置具有用于将被反射的测量基准辐射与被反射的测量辐射叠加的叠加单元,并且具有用于将所叠加的辐射分为至少两个具有不同波长的辐射并且将辐射转换为电信号的辐射分解及辐射接收单元,并且其中在所述分析装置中可以在所述电信号的相位差的基础上来确定粗糙的表面的形状或者说间距。在此由所述辐射产生单元发出的辐射在时间上短相干并且是宽带的。

这样的首先由两个干涉仪组成的干涉测量的测量装置可以用不同类型的干涉仪构成。例如所述调制干涉仪可以构造为马赫-策恩德尔(Mach-Zehnder)干涉仪,而所述测量干涉仪或者说测量用探针则紧凑地比如构造为米劳(Mirau)干涉仪。这些干涉测量的测量装置的共同点是,在第一干涉仪中写入的、在短相干的辐射源的两个部分辐射之间的光程差在第二测量干涉仪或者说测量用探针中再度得到补偿并且由此使所述部分辐射形成干涉。在DE 198 08 273中通过迟延元件写入的光程差在此也可以如在DE 198 08 273中在用光导体构成的调制干涉仪中所示出的一样通过由所述部分辐射从中经过的不同长度的局部支臂来产生。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司,未经罗伯特·博世有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200680035993.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top