[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
申请号: | 200680036814.4 | 申请日: | 2006-09-01 |
公开(公告)号: | CN101278234A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 金田隆行;花畑博之;金行洲;胁周三 | 申请(专利权)人: | 旭化成电子材料元件株式会社;株式会社PI技术研究所 |
主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;G03F7/022;G03F7/40;H01L21/027 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种感光性树脂组合物,相对于100质量份缩聚物(A),包含1~100质量份感光性重氮萘醌化合物(B),其中所述缩聚物(A)的重均分子量为3000~70000,该缩聚物(A)具有由1个或多个四羧酸二酐与1个或多个具有相互在邻位的氨基和酚羟基的芳香族二胺脱水缩合形成的结构。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中所述缩聚物(A)具有由四羧酸二酐与芳香族二胺脱水缩合形成的结构,该四羧酸二酐包括选自如下物质所组成的组中的至少1种:双环(2,2,2)-辛-7-烯-2,3,5,6-四羧酸二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐以及双(3,4-二羧基苯基)醚二酐;该芳香族二胺包括选自如下物质所组成的组中的至少1种:双(3-氨基-4-羟基苯基)砜、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷以及3,3’-二羟基-4,4’-二氨基联苯。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中所述缩聚物(A)具有由四羧酸二酐与芳香族二胺脱水缩合形成的结构,该四羧酸二酐包括双环(2,2,2)-辛-7-烯-2,3,5,6-四羧酸二酐,该芳香族二胺包括双(3-氨基-4-羟基苯基)砜。
4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其中所述缩聚物(A)具有由四羧酸二酐与芳香族二胺脱水缩合形成的结构,该四羧酸二酐包括双环(2,2,2)-辛-7-烯-2,3,5,6-四羧酸二酐,该芳香族二胺包括双(3-氨基-4-羟基苯基)砜,其中,基于包括全部所述四羧酸二酐与全部所述芳香族二胺的全部原料单体,所述双(3-氨基-4-羟基苯基)砜在20摩尔%~40摩尔%的范围,所述四羧酸二酐的总摩尔数与所述芳香族二胺的总摩尔数之比在1∶0.75~0.87或0.75~0.87∶1的范围,且所述缩聚物(A)的重均分子量在5000~17000的范围。
5.根据权利要求1~4任一项所述的感光性树脂组合物,其中所述感光性重氮萘醌化合物(B)为选自下述物质所组成的组中的至少一种化合物:下述通式(1)~(6)任一项所示的多羟基化合物的1,2-萘醌二叠氮-4-磺酸酯以及该多羟基化合物的1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯,
其中,k、l、m和n各自独立表示1或2;R1~R10各自独立表示选自氢原子、卤原子、烷基、链烯基、烷氧基、烯丙基以及酰基所组成的组中的至少1个1价基团;此外,Y1~Y3各自独立表示选自单键、-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-CO-、-CO2-、亚环戊基、亚环己基、亚苯基以及下述化学式所示的有机基团所组成的组中的至少1个2价基团,
其中,R11和R12各自独立表示选自氢原子、烷基、链烯基、烯丙基以及取代烯丙基所组成的组中的至少1个1价基团;R13~R16表示氢原子或烷基,可各自相同或不同;w表示1~5的整数;此外,R17~R20表示氢原子或烷基,可各自相同或不同;
其中,Z表示选自下述化学式所示的有机基团中的至少1个4价基团;R21、R22、R23和R24各自独立表示1价有机基团;b表示0或1;a、c、d和e各自独立表示0~3的整数;f、g、h和i各自独立表示0~2的整数;
其中,k表示3~8的整数;k×j个L各自独立表示具有1个或多个碳原子的1价有机基团;j表示1~5的整数;此外,k个T和k个S各自独立表示选自氢原子和1价有机基团所组成的组中的1价基团;
其中,A表示包含脂肪族的叔碳或季碳的2价有机基团;M表示选自下述化学式所示的基团中的至少1个2价基团;
其中,各个R25表示下述化学式所示的1价基团,可相同或不同;此外,各个q独立表示0~2的整数,
其中,各个R26独立表示选自烷基和环烷基所组成的组中的至少1个1价有机基团;此外,各个r独立表示0~2的整数;此外
其中,R27表示选自氢原子、烷基、烷氧基和环烷基所组成的组中的至少1个1价有机基团。
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