[发明专利]半导体处理装置以及方法

权利要求书

1.一种半导体处理装置，其特征在于，具备：

半导体处理部，其对半导体装置进行处理；

显示部，其具备显示画面并对图像进行显示；

显示控制部，其使上述显示部显示用于对上述半导体处理部输入指示的指示输入画面以及/或者对上述半导体处理部的处理状况进行显示的处理状况显示画面；

识别信息读取部，其非接触地读取存储在操作员所持的存储装置中的识别信息；以及

权限存储部，其存储对赋予操作员的权限进行规定的权限规定信息，

上述显示控制部具备：权限辨别部，其根据存储在上述权限存储部中的权限规定信息，辨别对由上述识别信息读取部读取的识别信息所确定的操作员赋予的权限；以及显示限制部，其在由该权限辨别部辨别的权限的范围内，生成操作员可以对上述半导体处理部输入指示以及/或者可以参照上述半导体处理部的处理状况的操作画面，并显示在上述显示部中。

2.根据权利要求1所述的半导体处理装置，其特征在于，

上述显示控制部具备：屏幕保护显示控制部，其显示将操作画面进行隐藏的屏幕保护；以及屏幕保护解除控制部，其当上述权限辨别部辨别为具有权限时，解除上述屏幕保护。

3.根据权利要求1所述的半导体处理装置，其特征在于，

上述识别信息读取部由IC标签读取装置构成，该IC标签读取装置读取存储在操作员所持的非接触IC标签中的识别信息。

4.根据权利要求1所述的半导体处理装置，其特征在于，

上述半导体处理部具备对基体实施处理的处理部和对由上述处理部处理后的基体进行检查的检查部中的至少一个。

5.根据权利要求1所述的半导体处理装置，其特征在于，

上述权限存储部具备：

组分类权限存储部，其按照规定的组分类，来存储权限；以及

所属信息存储部，其存储表示各操作员属于哪个组的所属信息。

6.根据权利要求5所述的半导体处理装置，其特征在于，还具备：

变更检测部，其参照人事信息文件，检测该人事信息文件上的变更，生成表示检测出的变更内容的变更信息；以及

所属信息更新部，其根据由上述变更检测部生成的变更信息，更新存储在上述所属信息存储部中的所属信息。

7.一种显示处理状况的方法，其特征在于，具备：

半导体处理步骤，对半导体装置进行处理；

显示步骤，显示图像；

显示控制步骤，使在上述显示步骤中显示用于对上述半导体处理步骤输入指示的指示输入画面、以及/或者显示上述半导体处理单元的处理状况的处理状况显示画面；

识别信息读取步骤，非接触地读取存储在操作员所持的存储装置中的识别信息；

权限存储步骤，存储对赋予操作员的权限进行规定的权限规定信息；

权限辨别步骤，根据在上述权限存储步骤中存储的权限规定信息来辨别对根据在上述识别信息读取步骤中读取的识别信息所特定的操作员赋予的权限；以及

显示限制步骤，在该权限辨别步骤中辨别的权限范围内，生成操作员在上述半导体处理步骤中可输入指示以及/或者可参照上述半导体处理步骤的处理状况的操作画面，并在上述显示步骤中进行显示。

8.根据权利要求7所述的显示处理状况的方法，其特征在于，

上述显示控制步骤具备：显示将操作画面进行隐藏的屏幕保护的步骤；以及当在上述权限辨别步骤中辨别为具有权限时解除上述屏幕保护的步骤。

9.根据权利要求7所述的显示处理状况的方法，其特征在于，

在上述识别信息读取步骤中读取操作员所持的非接触IC标签中所存储的识别信息。

10.根据权利要求7所述的显示处理状况的方法，其特征在于，

上述半导体处理步骤具备对基体实施处理的处理步骤和对由上述处理步骤处理后的基体进行检查的检查步骤中的至少一个步骤。

11.根据权利要求7所述的显示处理状况的方法，其特征在于，

上述权限存储步骤具备：

按照规定的组分类存储权限的步骤；以及

存储表示各操作员属于哪个组的所属信息的步骤。

12.一种半导体处理装置，其特征在于，具备：

半导体处理单元，其对半导体装置进行处理；

显示单元，其具备显示画面并对图像进行显示；

显示控制单元，其使上述显示单元显示用于对上述半导体处理单元输入指示的指示输入画面以及/或者对上述半导体处理单元的处理状况进行显示的处理状况显示画面；

识别信息读取单元，其非接触地读取存储在操作员所持的存储装置中的识别信息；以及

权限存储单元，其存储对赋予操作员的权限进行规定的权限规定信息，

上述显示控制单元具备：

权限辨别单元，其根据存储在上述权限存储单元中的权限规定信息，辨别对由上述识别信息读取单元读取的识别信息所确定的操作员赋予的权限；以及

显示限制单元，其在由该权限辨别单元辨别的权限范围内，生成操作员可对上述半导体处理单元输入指示以及/或者可参照上述半导体处理单元的处理状况的操作画面，并显示在上述显示单元中。