[发明专利]半导体封装的分类方法无效
申请号: | 200680039142.2 | 申请日: | 2006-10-18 |
公开(公告)号: | CN101292338A | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 姜珉求;李贤珉;宋京洙;李相允;林双根 | 申请(专利权)人: | 英泰克普拉斯有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 韩国大*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 分类 方法 | ||
1、一种用于检测半导体封装并基于检测的结果将半导体封装分为不良产品和合格产品的方法,该方法包括:
在从加载单元传送的第一托盘上执行视觉检测;
将已经经过视觉检测的所述第一托盘传送到缓冲器单元;
将装载在所述第一托盘中的不良产品转移到至少一个不良产品托盘,所述第一托盘作为所述缓冲器单元的缓冲器托盘;
在从所述加载单元传送的第二托盘上执行视觉检测;
将已经经过视觉检测的所述第二托盘传送到卸载单元;
判断是否在装载在所述第二托盘中的半导体封装之中发现不良产品,所述第二托盘作为所述卸载单元的卸载托盘;
如果判断出所述卸载托盘装载有不良产品,则将所述卸载托盘的所述不良产品转移到所述不良产品托盘的空位,并且转移装载在所述缓冲器托盘中的合格产品以填充所述卸载托盘的空位;
如果在重复执行所有上述的步骤之后,完成了所选批次的最后一个托盘的视觉检测,并且所述最后一个托盘被传送到所述卸载单元,则将装载在该卸载托盘中的不良产品转移到所述不良产品托盘;
将所述不良产品托盘卸到不良产品存储单元,并且判断是否执行对所述不良产品的再检测;以及
如果确定执行对所述不良产品的再检测,则在所述合格产品被排列的同时执行对所述不良产品的再检测。
2、根据权利要求1所述的方法,还包括:在完成转移装载在所述缓冲器托盘中的所述合格产品以填充所述卸载托盘的空位的步骤操作之后,
将被所述合格产品填满的卸载托盘卸到卸载单元,并且判断所述不良产品托盘是否被所述不良产品填满;以及
如果所述不良产品托盘被所述不良产品填满,则卸下所述不良产品托盘并输送空托盘到所述不良产品存储单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造