[发明专利]带有薄膜的透明衬底和使用这类带有薄膜的透明衬底用于制造带有电路图案的透明衬底的方法无效
| 申请号： | 200680040301.0 | 申请日： | 2006-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101297380A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 佐藤了平;中川浩司;森永英二;臼井玲大;矶野贵充;田中健治;高木悟;江畑研一;坂本宽 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01J11/00;H01B13/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 染晓广;陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 薄膜 透明 衬底 使用 这类 用于 制造 电路 图案 方法 | ||
1.一种附着有薄膜的透明衬底，其包括上面带有透明导电膜的透明衬底，所述透明导电膜的载流子浓度为5×1019/cm3或更高。
2.如权利要求1的附着有薄膜的透明衬底，其中所述透明导电膜为含有氧化锡作为主要组分的薄膜。
3.如权利要求1或2的附着有薄膜的透明衬底，其中所述透明导电膜的厚度为50-500nm。
4.如权利要求1至3任一项的附着有薄膜的透明衬底，其中所述透明导电膜可以用波长1,064nm的激光来图案化。
5.一种用于制造带有电路图案的透明衬底的方法，包括使用波长1,064nm的激光辐照权利要求1至4任一项的附着有薄膜的透明衬底，以在所述透明衬底上形成电路图案。
6.如权利要求5的用于制造带有电路图案的透明衬底的方法，其中所述附着有薄膜的透明衬底是通过在透明衬底上形成透明导电膜、然后进行退火处理而获得的。
7.一种通过权利要求5或6的用于制造带有电路图案的透明衬底的方法制造的带有电路图案的透明衬底。
8.一种使用权利要求1至4和7任一项所述的附着有薄膜的透明衬底的电子电路设备。
9.一种使用权利要求1至4和7任一项所述的附着有薄膜的透明衬底的等离子显示板。
10.一种用于制造电子电路设备的方法，包括通过权利要求5或6所述的用于制造带有电路图案的透明衬底的方法制造所述设备。
11.一种用于制造等离子显示板的方法，包括通过权利要求5或6的用于制造带有电路图案的透明衬底的方法制造所述显示板。
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