[发明专利]含有碳酸亚乙酯材料的充填方法及其充填装置无效
申请号: | 200680041916.5 | 申请日: | 2006-11-07 |
公开(公告)号: | CN101304921A | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 新妻裕志;饭沼知久 | 申请(专利权)人: | 东亚合成株式会社 |
主分类号: | B65B3/04 | 分类号: | B65B3/04;B08B9/02;H01L21/304 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 史雁鸣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 碳酸 亚乙酯 材料 充填 方法 及其 装置 | ||
1.一种含有碳酸亚乙酯材料的充填方法,用于将含有碳酸亚乙酯材料充填到充填用容器内,其特征在于,
将含有碳酸亚乙酯原料从含有碳酸亚乙酯原料储藏部通液到充填用配管内,
然后,将上述含有碳酸亚乙酯原料连续地在管线内向从该充填用配管的途中分支且被加温的颗粒测定用配管内通液,通过与上述颗粒测定用配管连接着的颗粒测定装置来测定上述含有碳酸亚乙酯原料中的颗粒的数,
接着,在0.2μm以上的颗粒的数达到基准值以下的时刻,将上述含有碳酸亚乙酯材料从上述充填用配管的出口充填到上述充填用容器内。
2.如权利要求1所述的含有碳酸亚乙酯材料的充填方法,其特征在于,一边控制上述含有碳酸亚乙酯原料的流量,一边测定上述含有碳酸亚乙酯原料中的颗粒的数,使得上述颗粒测定用配管中的上述含有碳酸亚乙酯原料的流量的变动在±10%以内。
3.如权利要求1所述的含有碳酸亚乙酯材料的充填方法,其特征在于,在结束上述含有碳酸亚乙酯材料的充填后,通过将惰性气体和/或水导入到上述颗粒测定用配管内来清洗上述颗粒测定用配管内部,接着,在除去了该颗粒测定用配管内的含有碳酸亚乙酯原料的状态下,保持上述惰性气体或者上述水,而在充填再次开始时,重新向上述颗粒测定用配管内通液含有碳酸亚乙酯原料。
4.一种含有碳酸亚乙酯材料的充填装置,其特征在于,具有储藏含有碳酸亚乙酯原料的含有碳酸亚乙酯原料储藏部;用于充填含有碳酸亚乙酯材料的充填用容器;从该含有碳酸亚乙酯原料储藏部向该充填用容器通液上述含有碳酸亚乙酯原料的充填用配管;作为向测定上述含有碳酸亚乙酯原料中的颗粒数的装置通液的配管并从上述充填用配管的途中分支且被加温的颗粒测定用配管;作为测定上述含有碳酸亚乙酯原料中的颗粒数的装置并与上述颗粒测定用配管的出口连接着的颗粒测定装置。
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