[发明专利]含有碳酸亚乙酯材料的充填方法及其充填装置

说明书

技术领域

本发明涉及将含有碳酸亚乙酯材料充填到充填用容器内的方法及其充填装置，具体地说，是涉及作为除去在电子设备用基板等基体表面上附着的有机膜的剥离液使用，特别是作为除去在半导体用晶片、液晶用基板等上所使用的光致抗蚀剂膜的剥离液应用的、颗粒(微小粒子)被减少了的含有碳酸亚乙酯材料的充填方法及其充填装置(充填系统)。

背景技术

以往，在除去在氧化膜或多晶硅膜的微细加工中使用的光致抗蚀剂膜时，使用剥离液的方法已被公知，作为此剥离液，使用苛性钠、苛性钾等的无机强碱水溶液、硫酸以及过氧化氢的混合物、IPA(异丙醇)、NMP(N-甲基吡咯烷酮)等的有机溶剂、单乙醇胺、TMAH(氢氧化四甲基铵)等的有机碱物质等。

但是，在使用这些剥离液的剥离方法中，不仅不能忽视剥离液本身的火灾危险性和有害性，而且还存在着由于溶解了的抗蚀剂膜积蓄，抗蚀剂膜的剥离能力降低，所以反复使用受到限制的问题。

近年来，为了改善剥离液的反复使用性，有人提出了对处理液进行臭氧氧化以分解抗蚀剂膜的方法，在这样的方法中，作为处理液，使用了碳酸亚乙酯(下称“EC”)和/或碳酸亚丙酯(参照日本特开2001-345304号公报、特开2003-330206号公报、特开2003-305418号公报)。

在上述用途中，需要使用微小粒子(颗粒)被减少了的EC，在将由EC制造设备制造的EC充填并储藏在制品用容器内的情况下，在从此容器向用于向抗蚀剂膜的剥离装置供给的储罐充填的情况下，以及在当抗蚀剂膜的剥离装置工作时使之在装置内循环地使用的情况下，都需要对EC中所含的颗粒进行测定、管理。因此，要求颗粒数的测定方法准确，但以往的测定方法是使用图3所示的系统，即使用具有测定用样品瓶1、导入配管4以及6、颗粒测定装置3、注射器采样器5的系统，预先从EC储藏部对EC进行采样，作为测定用样品瓶1，通过使用注射器采样器5的吸引，使液状的EC通液到配管2内，然后，通过导入到颗粒测定装置3内测定颗粒的数。根据此方法，因为是对测定用样品瓶1在采样后测定颗粒数，所以存在着由于测定用样品瓶1的内面和配管2的开口部的污染导致颗粒数增加的危险性，并且由于采样和颗粒测定时的时间滞后导致不能充填颗粒数已被确定的EC而徒劳的情况。

另一方面，因为EC熔点高达36℃，在常温下为固体，所以充填是预先将EC加温使之成为液体状态来进行的，但是，在对颗粒测定用EC进行采样时，存在着在采样配管中固化、不能进行采样的情况。另外，在测定颗粒时，若在采样用容器的内部以及从采样用容器到测定装置为止的配管内固化，则不能测定颗粒数。

这样的EC的固化可通过对采样配管、采样用容器、测定配管等加温，或者将EC添加到颗粒数已知的第二成分(例如碳酸亚丙酯)中做成混合液来防止。在做成混合液时，虽然不需要加温配管等，但是，因为EC中的颗粒数是根据其测定值以及第二成分的颗粒数和添加量通过计算算出的，所以每次都需要测定第二成分中的颗粒数，不仅麻烦，而且若对第二成分的管理松懈，还会产生测定值变动等问题。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题是提供一种在操作环境温度例如常温下，简单、准确且再现性良好地测定作为固体状态的含有EC原料中的颗粒的数，将质量优良的含有EC材料稳定地充填到制品用容器等的充填用容器内的方法、以及含有此EC材料的充填装置(充填系统)。

为了解决课题的手段

本发明者们为了解决上述课题进行了专心研究，结果发现了下述情况，实现了本发明，即，在具有作为EC等的制造设备中的接收槽等的含有EC原料储藏部、从此含有EC原料储藏部的出口一直到制品用容器等的充填用容器的入口为止所连接的充填用配管、从此充填用配管的途中分支且与测定颗粒的数的装置连接着的颗粒测定用配管的装置中，在通液液状的含有EC原料时，通过对颗粒测定用配管加温，能够防止含有EC原料的固结，并且能得到变动小的颗粒测定值，同时，能够将被提示为此测定值的含有EC材料充填到充填用容器内。

即，本发明可表示如下。

1.一种含有EC材料的充填方法，用于将含有EC材料充填到充填用容器内，其特征在于，将含有EC原料从含有EC原料储藏部通液到充填用配管内，然后，将上述含有EC原料连续地在管线内向从该充填用配管的途中分支且被加温的颗粒测定用配管内通液，通过与上述颗粒测定用配管连接着的颗粒测定装置来测定上述含有EC原料中的颗粒的数，接着，在0.2μm以上的颗粒的数达到基准值以下的时刻，将上述含有EC材料从上述充填用配管的出口充填到上述充填用容器内。