[发明专利]用于真空测量计的遮蔽装置

权利要求书

1.一种具有遮蔽装置(25)的真空测量计(15)，该遮蔽装置用于通过降低真空测量计的污染来实现保护功能，以提高测量计的使用寿命，同时确保高测量精度和真空测量的可重复性，所述真空测量计包括：具有用于真空测量的膜片(2)的测量计壳体(1，4)、包围着遮蔽件的遮蔽壳体，其中遮蔽壳体处在所述测量计壳体之外，并具有用于与所述测量计壳体连接的排出开口(16)以及用于与待测量的对象腔室连接的连接开口(22)，并且所述遮蔽件布置在所述两个开口(16，22)之间，所述遮蔽壳体包括管件(14)，并且所述遮蔽件(7，20)设在该管件中并包括具有螺旋形螺纹(21)的螺旋遮蔽件(20)，该螺旋形螺纹确定了具有横截面的螺旋形路径，所述螺纹的至少一个的螺纹轮廓侧面在外直径中贴靠在所述管件(14)的内壁上，从而在所述两个开口之间的轴向的视线方向上，所述遮蔽件是光学密封的，从而在所述两个开口之间不允许透视，进而阻挡了螺纹轮廓侧面的外直径和所述内壁之间的气体通流，并且这种气体通流被强制进入到所述螺旋形路径中；所述排出开口(16)处在所述管件(14)的一侧，而连接开口(22)处在该管件的位于对面的另一侧，所述遮蔽装置通过其螺旋形路径降低了真空测量计的污染，并且所述螺旋形路径的横截面大于所述螺旋遮蔽件的所有实体材料的横截面，从而所述螺旋形路径的横截面与所述实体材料的横截面形成合适的比例，以提高遮蔽装置的保护功能并提高真空测量计的测量性能。

2.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，所述螺旋遮蔽件(20)具有至少1.5个螺纹(21)。

3.根据权利要求2所述的真空测量计，其特征在于，所述螺旋遮蔽件(20)设计成多线程的螺杆(20)。

4.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，所述螺旋遮蔽件(20)设计成扁平螺线的螺杆(20)。

5.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，所述螺旋遮蔽件(20)具有棒形的芯部(23)，围绕着该芯部布置有螺旋形的螺纹。

6.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，所述螺旋遮蔽件(20)的长度(1)大于它的外直径(2r)。

7.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，所述管件(14)在连接开口(22)处具有连接法兰(8)。

8.根据权利要求7所述的真空测量计，其特征在于，所述连接法兰(8)与管件(14)一体形成。

9.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，在所述排出开口(16)的区域内布置有圆形的扁平遮板(30)。

10.根据权利要求9所述的真空测量计，其特征在于，所述扁平遮板(30)设计成筛网遮板(30)。

11.根据权利要求9所述的真空测量计，其特征在于，所述扁平遮板(30)固定在螺旋遮蔽件(20)上。

12.根据权利要求11所述的真空测量计，其特征在于，所述扁平遮板在它的外围具有固定接片(33)，用于固定在管件(14)的内壁上。

13.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，所述螺旋遮蔽件(20)设计成能够在管件(14)中插入和拔出的。

14.根据权利要求1所述的真空测量计，其特征在于，所述遮蔽装置(14，20，25)通过排出开口(16)与测量计壳体连接，并且所述真空测量计在测量计壳体内具有膜片，其中所述真空测量计是电容式膜片测量计或光学式膜片测量计。