[发明专利]真空装置用闸阀

权利要求书

1.一种真空装置用闸阀，其是隔离真空装置的处理室和电子枪部 之间的阀，其特征在于，包括：在相向的侧壁部上分别具有开口的阀 箱(2)、开闭所述开口的阀体、开阀时从所述开口的处理室侧插入所 述阀箱内的能够自由往复运动的筒状的可动屏蔽件(22)、能够与所述 可动屏蔽件的末端部抵接且设在所述开口的电子枪部侧的电子枪部侧 可动屏蔽件止挡部件(56)、和使所述可动屏蔽件往复运动的驱动机构；

在所述阀箱(2)的处理室侧的侧壁(2b)上形成有处理室侧开口 (4b)，

在所述处理室侧开口(4b)的周围安装有处理室侧可动屏蔽件止 挡部件(21)，

在所述阀箱(2)的电子枪部侧的侧壁(2a)上形成有电子枪部侧 开口(4a)，

在开阀时，所述可动屏蔽件(22)从所述处理室侧开口(4b)被 插入，贯通所述阀箱(2)的阀室(15)，通过所述电子枪部侧开口(4a) 而被所述电子枪部侧可动屏蔽件止挡部件(56)挡住，所述可动屏蔽 件(22)的所述电子枪部侧开口(4a)侧的末端部在内方侧成为凸缘， 与所述电子枪部侧可动屏蔽件止挡部件(56)的凸缘紧密接合，由此， 所述阀室(15)的所述可动屏蔽件(22)的内方侧和所述可动屏蔽件 (22)的外方侧的阀室(15)的气氛被分开，

所述可动屏蔽件(22)的所述处理室侧开口(4b)侧的末端在外 方侧成为凸缘，与所述处理室侧可动屏蔽件止挡部件(21)的所述处 理室侧开口(4b)侧的端面及内方侧面紧密接合，由此，除去所述可 动屏蔽件的内方侧的所述阀室(15)与所述处理室完全分离。

2.如权利要求1所述的真空装置用闸阀，其特征在于，所述可动 屏蔽件具有冷却机构。

3.如权利要求1所述的真空装置用闸阀，其特征在于，在所述可 动屏蔽件(22)与所述电子枪部侧可动屏蔽件止挡部件(56)以及所 述处理室侧可动屏蔽件止挡部件(21)抵接的部位使用密封件，该密 封件是极软钢、软钢、纯铁、铜、铝、锌、铅和锡中的任一个。