[发明专利]XY工作台执行器

权利要求书

1.一种XY工作台执行器，其特征在于，

所述XY工作台执行器由固定板(2)、滚动体(3)、移动板(5)、中间板(4)、X驱动机构(6)、Y驱动机构(7)构成，所述固定板(2)具有沿X方向的收容槽(20)，被形成为大致凹槽状；所述移动板(5)具有沿Y方向的收容槽，被形成为大致凹槽状；所述中间板(4)的下半体借助于所述滚动体(3)被组装在上述固定板的收容槽内，另一方面，所述中间板(4)的上半体借助于所述滚动体(3)被组装在上述移动板的收容槽内，该中间板(4)可相对于上述固定板向X方向、相对于上述移动板向Y方向自由移动；所述X驱动机构(6)相对于上述固定板，向X方向推动中间板；所述Y驱动机构(7)相对于上述中间板，向Y方向推动移动板；

在上述中间板上分别设置了上述X驱动机构以及Y驱动机构的收容室(40、41)。

2.如权利要求1所述的XY工作台执行器，其特征在于，将上述X驱动机构(6)以及Y驱动机构(7)搭载在中间板(4)上。

3.如权利要求1所述的XY工作台执行器，其特征在于，上述X驱动机构(6)的收容室和Y驱动机构(7)的收容室在XY平面内相互邻接。

4.如权利要求1所述的XY工作台执行器，其特征在于，

在上述中间板(4)上，搭载着检测该中间板相对于固定板(2)的移动量的X方向传感器(90)，和检测该中间板(4)相对于移动板(5)的移动量的Y方向传感器(91)；

将这些X方向传感器(90)以及Y方向传感器(91)的信号线与上述X驱动机构(6)以及Y驱动机构(7)的信号线汇集在一起，从上述中间板(4)引出。

5.如权利要求4所述的XY工作台执行器，其特征在于，上述X方向传感器(90)、Y方向传感器(91)、上述X驱动机构(6)以及Y驱动机构(7)的信号线被收容在一张柔性印刷配线板(92)上，从上述中间板(4)引出。

6.如权利要求5所述的XY工作台执行器，其特征在于，从上述中间板(4)引出的柔性印刷配线板(92)的面，朝向X方向或者Y方向。

7.如权利要求1所述的XY工作台执行器，其特征在于，将上述X驱动机构(6)搭载在固定板(2)上，将上述Y驱动机构(7)搭载在移动板(5)上。

8.如权利要求1所述的XY工作台执行器，其特征在于，

在上述中间板(4)上，在与上述固定板(2)之间沿X方向形成了由所述滚动体(3)一面承受载荷一面滚动的滚动体滚动槽(232)，另一方面，在与上述移动板(5)之间沿Y方向形成了由所述滚动体(3)一面承受载荷一面滚动的滚动体滚动槽(232)；而且具有上述滚动体循环的无限轨道(203)；

形成于上述中间板(4)上的X方向的滚动体滚动槽被形成得比固定板(2)的X方向长度短，另一方面，形成于上述中间板(4)上的Y方向的滚动体滚动槽被形成得比移动板(5)的Y方向长度短。

9.如权利要求8所述的XY工作台执行器，其特征在于，在上述无限轨道(203)中循环的所述滚动体(3)的表面，由固体润滑膜覆盖着。