[发明专利]XY工作台执行器

说明书

技术领域

本发明涉及例如在各种检查装置、计测装置、运送装置等中利用的、用于使对象物在XY平面内自由移动进行定位的XY工作台执行器，详细地说，是涉及能够小型化到厚度10mm程度的XY工作台执行器。

背景技术

以往，作为使对象物在XY平面内自由移动、定位在任意的位置的装置，利用了线性引导器的所谓组合(built up)型的XY工作台执行器已被公知。具体地说是以如下方式构成的，即在底座、支柱等固定部上沿X方向配设轨道，同时，设置沿此轨道移动的下部工作台，而且，在此下部工作台上沿Y方向配设轨道，同时，设置沿此轨道移动的上部工作台，使上述的上部工作台相对于固定部向X方向以及Y方向自由移动。另外，作为使下部工作台相对于固定部向Y方向进退、使上部工作台相对于下部工作台向X方向进退的机构，已知的是通过滚珠丝杠将马达的旋转运动转换为直线运动，将上述的直线运动向下部工作台或者上部工作台传递的结构。

这样构造的XY工作台执行器，通过任意选定支承上述下部工作台以及上部工作台移动的线性引导器的负载载荷，从轻载荷用途到重载荷用途都能够灵活地对应，同时，通过选定轨道的长度，还能够使上部工作台的行程量增加。但是，由于将Y方向的轨道配设在向X方向移动的下部工作台上，所以，对下部工作台本身要求有高的刚性，而且，由于从固定部到上部工作台的高度也不得不增高，所以，存在着作为工作台整体大型化、重量化的问题。

另一方面，在日本特开平5-18415号公报中，公开了通过冲压加工薄壁钢板来谋求小型化、轻量化的XY工作台。具体地说，已公知的是，通过冲压加工，使钢板的两端部弯曲立起，由此形成凹槽状的下部板以及上部板，另一方面，使周围四边中的相对的两边朝向下侧，其余两边朝向上侧，形成弯曲立起的中间板，以弯曲立起的侧壁部相互相对的方式将上述上部板、中间板以及下部板组合。在相互相对的侧壁部之间配置滚珠，该滚珠在侧壁部中滚动，由此，中间板能够相对于下部板向X方向移动，上部板能够相对于中间板向Y方向自由移动。在此XY工作台中，上述下部板以及上部板尽管相对于中间板的移动方向不同，但可以使用构造完全相同的板，具有可以降低生产成本的优点。

专利文献1：日本特开平5-18415号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在日本特开平5-18415号公报中所公开的XY工作台，完全不具有使上部板相对于下部板向X方向以及Y方向进退且进行定位的驱动机构，例如，如果是将搭载在上部板上的运送对象物在XY平面内定位在任意的位置上的，则必须另外设置驱动机构。因此，作为将上部板定位在XY平面内的任意位置上的XY工作台执行器，完全没有实现小型轻量化。

另一方面，若模仿上述的所谓组合型的XY工作台执行器，则可以考虑将使中间板相对于下部板向X方向进退的机构设置在下部板上，将使上部板相对于中间板向Y方向进退的机构设置在中间板上。但是，在这种情况下，需要对下部板赋予与上部板不同的结构，不能谋求将上部板和下部板做成通用结构，以降低生产成本。

另外，在将驱动机构设置在下部板以及中间板的每一个上的情况下，需要对这些板分别单独配置驱动机构的信号线，还存在着在设置XY工作台执行器时花费工时的问题。

为了解决课题的手段

本发明就是鉴于这样的问题点而进行的，其目的在于，提供一种能够在内置了用于使搭载在工作台上的对象物在XY平面内自由移动且进行定位的驱动机构的同时，能够实现显著的小型化，而且能够将工作台的高度抑制得低的XY工作台执行器。

即，本发明的XY工作台执行器具有固定板、滚动体、移动板、中间板，所述固定板具有沿X方向的收容槽，被形成为大致凹槽状；所述移动板具有沿Y方向的收容槽，被形成为大致凹槽状；所述中间板可以相对于上述固定板向X方向、相对于上述移动板向Y方向自由移动。该中间板的下半体借助于所述滚动体，被组装在上述固定板的收容槽内，另一方面，该中间板的上半体借助于所述滚动体，被组装在上述移动板的收容槽内。上述固定板和移动板仅是与中间板组合时的姿势不同，可以使用构造上完全相同的板。

另外，本发明的XY工作台执行器具有向X方向推动上述固定板的X驱动机构和向Y方向推动上述移动板的Y驱动机构。在上述中间板上分别设有上述X驱动机构以及Y驱动机构的收容室。