[发明专利]对位装置、接合装置和对位方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对位装置，该对位装置用于电子元件例如晶片等的精确对齐，也涉及一种装有该对位装置的接合装置，以及一种对位方法。

背景技术

现有的用于接合液晶基板的方法中，上面板和下面板被面对面地存放在真空腔体内，其中上面板上吸附着具有定位标记的上基板，下面板上吸附着同样具有定位标记的下基板，下面板与下基板之间有弹性材料。通过识别上基板和下基板上的标记位置，进而识别各标记位置之间的绝对差。当各标记位置之间的绝对差不是预定值时，下基板被直线驱动单元移动一个修正值，该修正值对应于弹性材料变形量(现有技术1，见专利文献1)。

此外，真空腔体包括一个可移动单元、一个固定件和一个柔性柱形件。可移动单元包括一个放置样品的样品台，和一个用于驱动样品台的驱动机构。所述固定元件与所述样品台相对，且设置有用于将样品作预定处理的装置。柱形件为非透气部件，其一端密封地连接在固定件，另一端密封地连接至可移动单元。样品台放置在真空内，该真空由可移动单元、固定件和柱形件构成。所述驱动机构设置在该真空外面(现有技术2，参见专利文献2)。

专利文献1：日本专利申请，特开2004-151215号公报；

专利文献2：日本专利申请，特开平10-258224号公报。

发明内容

本发明所解决的技术问题

上述现有技术1中，用于寻找上基板和下基板上的定位标记的相机安装在下面板下面并陷入其内。因此，对于未对齐的情况，下面板可以移动的距离被缩短(如果下面板的可移动距离增加，则下面板与相机所安装的凹处接触)。此外，由于上面板和下面板之间设置有弹性材料，使得很难精确地识别两个标记。

由于上述的现有技术2原本不是用于对齐和接合两个电子元件，它没有公开用于对齐的光学系统。如果相机设置在样品台下，就会出现类似于上述现有技术2的问题。此外，在物理上很难在柔性柱形件内切口并将光学系统嵌入，因为柱形件的变形将对光学系统产生负载。

因此，考虑到上述问题，本发明在于提供一种对位装置，该对位装置可以可靠地修正电子元件之间的偏位，并可以增加电子元件之间对齐的精确性；以及提供一种装备有该对位装置的接合装置和一种对位方法。

解决技术问题的方案

根据权利要求1，本发明涉及一种对位装置。该对位装置包括：腔体；柔性波纹管，该柔性波纹管与所述腔体构成密封室；驱动单元，该驱动单元使第一部件和第二部件的其中一方相对另一方移动，所述第一部件支撑第一电子元件且设置在所述密封室内，所述第二部件支撑第二电子元件且设置在所述密封室内；图像获取口，该图像获取口从所述腔体的外表面向内凹进，从而形成一个空间，所述图片获取口的一部分上具有观察窗口，从该观察窗口可观察到至少所述第一电子元件和所述第二电子元件之一。

根据引用权利要求1所述对位装置的权利要求2的装置，用于获取至少所述第一电子元件和所述第二电子元件之一的图像的图像获取单元，设置在所述图像获取口构成的所述空间。

根据引用权利要求2所述对位装置的权利要求3的装置，所述第一电子元件具有第一对准标记，所述第二电子元件具有第二对准标记。所述对位装置还包括控制单元，该控制单元计算出所述图像获取单元获取的所述第一对准标记图像和所述第二对准标记图像之间的偏位量，并控制所述驱动单元修正该偏位量。

根据引用权利要求1至3任意一项所述对位装置的权利要求4，所述驱动单元控制所述第一部件和所述第二部件中的一方相对另一方移动和/或转动。

根据引用权利要求1至4任意一项所述对位装置的权利要求5，所述驱动单元使所述第一部件和所述第二部件中的一方相对另一方移动，移动方向为改变所述第一部件上的所述第一电子元件和所述第二部件上的所述第二电子元件之间的距离的方向。

根据引用权利要求1至5任意一项所述对位装置的权利要求6，所述对位装置还包括旋转密封部分，该旋转密封部分与所述腔体和所述波纹管构成所述密封室，并使所述波纹管可与所述腔体同步转动。

根据引用权利要求1至6任意一项所述对位装置的权利要求7，所述腔体包括供冷却水流动的冷却水管道。

根据权利要求8的发明涉及一种接合装置，该接合装置用于接合电子元件，并且设置有权利要求1至7任意一项的所述对位装置。