[发明专利]垂直搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种与多个楼层上铺设的多条搬运轨道衔接，并沿垂 直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装置。

背景技术

在半导体制造厂、液晶显示板制造厂等制造厂中，通过使用搬运 传送带、OHT、OHS等搬运系统，按照工艺流程，搬运收纳了制造过 程中器件(例如，在半导体制造厂中，为半导体衬底或液晶显示装置 用玻璃衬底、光掩模用玻璃衬底、光盘用衬底等处理对象物)的搬运 器。在使用了搬运系统的制造厂中，随着生产规模的扩大、制造厂的 大规模化得到实现，也要增加制造装置台数、扩大搬运系统的规模， 使得制造工序构成往往横跨多个楼层。在那种情况下，施行垂直方向 楼层之间的搬运与水平方向同一楼层内的搬运。

因此，在采用传送带搬运方式于楼层之间搬运负荷的搬运系统方 面，作为垂直方向进行搬运的现有技术，已有例如专利文献1以及专 利文献2所记载的具有传送功能的升降器等垂直搬运装置。专利文献1 公开一种带传送功能的升降器，升降式传送带设置于与一、二层部分 的立体循环搬运装置的水平部相邻的卸物处，在一、二楼层之间进行 升降并实施滚筒式搬运。另外，专利文献2公开一种具有与专利文献1 相似功能的带升降器的进库出库链式传送带。

而且，在使用传送带搬运方式以外的搬运方式于楼层之间搬运负 荷的搬运系统方面，作为垂直方向进行搬运的现有技术，已有装备了 堆垛升降器、转载装置的升降、架式的升降装置等垂直搬运装置。

日本专利文献1：特开平6-239416号公报

日本专利文献2：特开平5-262407号公报

因此，近年来，对提高生产效率的要求更加强烈，从而要求搬运 系统方面提高搬运效率(例如，缩短搬运时间)。特别是，在使用了 搬运能力高且可达成高生产效率的传送带搬运方式的搬运系统中，就 楼层之间搬运物品的垂直搬运装置，协调其搬运能力来说，对楼层之 间可高效地进行搬运也渐渐重要起来。但是，作为先行技术的一例， 在有关上述的专利文献1以及专利文献2的具有传送功能的升降器， 无论何种场合下，装备于升降器的传送带搬运方向始终固定，且沿接 收物品的楼层上铺设的传送带的传送搬运方向与沿移交物品的楼层上 铺设的传送带搬运方向始终一致地固定，在考虑传送搬运方向方面， 存在未全部按统一的规格加以设定与未能构建搬运传送轨道线路的问 题。即，先行技术所涉及的升降器，无法适用于使用具有各种搬运方 向的搬运传送轨道的传送带搬运方式的搬运系统，而且，还存在无法 适应伴随搬运系统规模扩大而搬运传送轨道的搬运方向改变的问题。 另外，通过把用于转载物品的转载机(转载机器人等)组装于垂直搬运装 置，虽然可以适应多个楼层间具有各种搬运方向的搬运传送轨道的搬 运系统，但由于转载机的搬运能力较低，无法与传送带搬运方式所具 有的高搬运能力进行协调，从而存在变成低效搬运系统的问题。

另外，在采用传送带搬运方式以外的搬运方式于楼层之间搬运物 品的搬运系统中，例如，存在架式升降装置的升降高度具有限制，导 致无法适应多个楼层组成的搬运系统的问题。另外，堆垛升降器虽然 是不受高度方向限制的升降自如的搬运装置，但物品的转载需要转载 机器人等转载机，从而存在转载机的转载时间成为楼层之间搬运效率 降低的原因的问题。进而，在现有技术的垂直搬运装置中，装备有转 载装置的升降器中使用转载装置，因物品的转载需要时间，所以无法 提高楼层之间搬运效率。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种在多个楼层上铺设有各种搬 运方向的搬运轨道的搬运系统中，可以提高楼层之间搬运效率的垂直 搬运装置。

本发明第一方面所涉及的垂直搬运装置，为一种与多个楼层上敷 设的多条搬运轨道衔接，并沿垂直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装 置，其特征在于：具有，具备可装载从任一条上述搬运轨道搬运来的 被搬运物品，而且可把该被搬运物品搬运至任一条上述搬运轨道的搬 运传送带，和调合上述搬运轨道的搬运方向并旋转该搬运传送带的旋 转装置的搬运方向设定装置；在上述多个楼层的搬运轨道之间，沿垂 直方向升降上述搬运方向设定装置的升降装置；以及根据针对被搬运 物品的搬运命令，控制上述搬运方向设定装置与上述升降装置的垂直 搬运控制装置。