[发明专利]拾取方法及拾取装置

权利要求书

1.一种片状器件拾取方法，其是通过将贴附于粘着板上的多个矩形薄壁的片状器件从所述粘着板依次剥离而取出的片状器件拾取方法，

所述片状器件拾取方法的特征在于，

利用支承部隔着粘着板而支承应剥离的片状器件，在该支承部的外周侧，在其与粘着板之间形成间隙之后，在从上方保持着所述片状器件的状态下，利用突入所述间隙的突起，从下方支承粘着板的一部分，同时抽吸间隙的空气，剥离支承部的外周侧的粘着板，然后，利用突起支承粘着板，并且从上方保持片状器件，同时使所述支承部沿着水平方向移动，从而将片状器件剥离。

2.一种片状器件拾取装置，其是通过将贴附于粘着板上的多个矩形薄壁的片状器件从所述粘着板依次剥离而取出的片状器件拾取装置，

所述片状器件拾取装置的特征在于，其具备：

保持机构，其从上方保持应剥离的片状器件；

载物台，其载置有粘着板；

支承部，其隔着粘着板而支承所述片状器件；

空气抽吸机构，其抽吸在该支承部的外周侧而形成于其与粘着板之间的间隙的空气；

突起，其突入所述间隙内并从下方支承所述粘着板的一部分；

驱动机构，其使所述支承部沿着水平方向移动。

3.根据权利要求2所述的片状器件拾取装置，其特征在于，

所述突起由能够上下动作的销构成。

4.根据权利要求2或3所述的片状器件拾取装置，其特征在于，

在配置有所述支承部的载物台上一体地设置了所述突起。

5.根据权利要求2所述的片状器件拾取装置，其特征在于，

所述突起与应剥离的片状器件的角部对应配置。