[发明专利]货盘搬运装置及基板检查装置

权利要求书

1、一种货盘搬运装置，为一种使支持基板的货盘进行移动的货盘搬运装置，其特征在于，

包括使前述货盘沿着上下方向而移动的升降机构，

前述升降机构具有冲击缓和机构，用于缓和在该升降机构的动作中对货盘上所支持的基板所施加的冲击，且该冲击缓和机构对升降机构的动作进行控制。

2、如权利要求1所述的货盘搬运装置，其特征在于，

前述冲击缓和机构为切换前述升降机构的驱动速度的机构，

在前述升降机构的动作开始时和动作结束前此二个时间的至少一个时间，将驱动速度切换为低速，

将除了前述低速期间以外的驱动期间的驱动速度切换为高速。

3、如权利要求2所述的货盘搬运装置，其特征在于，

在前述升降机构的上升动作时，以高速的驱动速度开始上升动作，并将上升动作结束前的规定期间中的驱动速度切换为低速，

在前述升降机构的下降动作中，以低速的驱动速度开始下降动作，并在从下降开始后经过规定期间后，将驱动速度切换为高速。

4、如权利要求2或3所述的货盘搬运装置，其特征在于，

前述升降机构是利用气压来驱动的气缸机构，

前述冲击缓和机构具有高速压空管路和低速压空管路这2系统的压空管路，以对前述气缸机构供给不同流量的气体，

在前述规定期间，利用低速压空管路，使供给到前述气缸机构的每单位时间的气体供给量减少，以低速来驱动气缸机构，

在除了前述规定期间以外的驱动期间，利用高速压空管路，使供给到前述气缸机构的每单位时间的气体供给量增加，以高速来驱动气缸机构。

5、一种货盘搬运装置，其是将支持基板的多台货盘进行移动的货盘搬运装置，其特征在于，设置有

使前述多台货盘中的一台货盘沿着水平方向而移动的搬运机构，

如前述权利要求1至4项中任1项所述的升降机构，

而且，前述升降机构藉由使前述多台货盘沿着上下方向个别地自如移动，且与前述搬运机构之间自如地进行货盘的转移替换，并在与前述搬运机构之间沿着上下方向而移动，从而进行前述货盘的转移替换。

6、一种基板检查装置，包括：

检查室，进行基板检查，以及

负载锁定室，与前述检查室之间进行基板的搬入搬出，

而且，前述负载锁定室具有权利要求1至5中任1项所述的货盘搬运装置，

该搬运机构包括：

第1搬运辊，设置在进行基板检查的检查室内，以及

第2搬运辊，设置在与该检查室之间进行基板的搬出搬入的负载锁定室内，

而且，在负载锁定室内，前述升降机构所保持的多台货盘共用前述第2搬运辊，并在与第1搬运辊之间进行搬出搬入。