[发明专利]货盘搬运装置及基板检查装置

说明书

技术领域

本发明是关于一种使支持基板的货盘进行移动的货盘搬运装置，以及设置有该货盘搬运装置的基板检查装置，基板检查装置可适用于在液晶显示器或有机电致发光(EL)显示器等所用的液晶基板的检查中使用的液晶基板检查装置。

背景技术

液晶基板或薄膜晶体管阵列基板(TFT阵列基板)包括TFT阵列和信号电极，薄膜晶体管是由来自扫描信号电极终端和图像信号电极终端的信号进行驱动，其中，TFT阵列是在玻璃基板等的基板上呈矩阵状配置的薄膜晶体管(TFT)所形成，信号电极是对该薄膜晶体管供给驱动信号。

作为对在基板上所形成的TFT阵列或液晶基板进行检查的装置，已知有TFT阵列检查装置或液晶基板检查装置等的基板检查装置。基板检查装置包括与扫描信号电极终端、图像信号电极终端进行电气连接的检查用探测器(probe)和检查电路。检查电路对检查用探测器施加规定的电压，并侦测由于施加所流过的电流，且调查栅极-源极间的短路、断点、断线等。

在液晶基板上所形成的TFT阵列有各种各样的尺寸或规格，且彼此布局(layout)不同，在液晶基板上所形成的驱动用电极也是每一布局都不同。因此，在检查液晶基板的基板检查装置中，也要依据TFT阵列的布局而预先准备对检查用探测器电极的电极位置进行设定的构件，并依据所检查的液晶基板而进行更换、检查。

在对液晶基板进行检查时，是从液晶基板的上方或下方重合探测器框，并使探测器框上所设置的探测器销(pin)与液晶基板的电极相接触，且利用该探测器销和电极的接触而进行液晶基板和探测器之间的电气连接。

不限于上述的液晶基板，半导体基板的检查也可在检查室内进行。为了在该检查室内对基板进行检查，须将基板载置在货盘上，并将该货盘从装载锁定室搬入到检查室内，且将检查完成的基板与货盘一起搬出。在检查室和装载锁定室之间所进行的货盘的搬运，可利用在检查室及装载锁定室所分别设置的搬运辊而进行。藉由在该各个室内设置搬运辊，除了使货盘在各室内移动以外，还可在检查室和装载锁定室之间交接货盘。

在基板搬运中，为了提高检查处理的效率，可采用这样的构成，亦即，藉由在装载锁定室中上下配置多个货盘，并使该货盘上下动作，而与搬运辊之间进行货盘的置换。

当与搬运辊之间进行货盘的置换时，如使货盘沿着上下方向移动，则在从静止状态变化到驱动状态之际，或从驱动状态变化到静止状态之际，会在货盘上施加加速度。另一方面，当在货盘上载置有基板时，因为基板只不过是单纯地置放在货盘上，所以根据货盘的移动状态，会由于基板的惯性而在货盘的动作和基板的动作之间产生偏差，对基板施加冲击。

在这种构成中，如为了加快基板的搬运处理以提高基板的处理节奏(tact)，而提高货盘的上下动作的速度，则货盘的速度变化更大，所以对基板施加的冲击增大，有可能因该冲击而在基板上产生损伤。

发明内容

因此，本发明的目的是解决前述习知的问题，提供一种货盘搬运装置及具有货盘搬运装置的基板检查装置，在利用货盘来搬运基板时，减少因货盘驱动所产生的冲击而使基板受到损伤的问题。

本发明的货盘搬运装置除了使支持基板的货盘进行移动的机构以外，还包括使货盘沿着上下方向进行移动的升降机构。该升降机构具有冲击缓和机构，用于缓和在升降动作中对货盘上所支持的基板所施加的冲击。

如前面所说明的，当利用升降机构使货盘沿着上下方向移动时，有时会因基板的惯性而在货盘的动作和基板的动作之间产生偏差，并由此而对基板施加冲击。

例如，在利用升降机构使载置基板的货盘上升的情况下，当停止上升动作时使货盘的速度减速，但此时货盘上所载置的基板因惯性而要维持速度。因此，基板是沿着要从货盘离开的方向而动作，然后因重力而再次载置在货盘上。此时，基板会受到来自货盘的冲击。

而且，在利用升降机构而使载置基板的货盘下降的情况下，从停止位置使货盘的速度朝着下方加速，但此时在货盘上所载置的基板因惯性而要停止。因此，基板沿着从货盘暂时离开的方向而动作，然后因重力而再次载置于货盘上。此时，基板会受到来自货盘的冲击。

如上述所说明的，当基板受到来自货盘的冲击而动作时，本发明的冲击缓和机构藉由控制升降机构的升降动作，而缓和对货盘上所支持的基板所施加的冲击。