[发明专利]旋转表面处理装置的运转条件确定方法

权利要求书

1.一种旋转表面处理装置的运转条件确定方法，该运转条件确定方法用于确定旋转表面处理装置的运转条件，该旋转表面处理装置用于对被处理物进行所期望的电镀处理，并且该装置具有如下部分：

表面处理部，其使保持着表面处理液和被处理物的处理容器旋转，以使被处理物向处理容器的外周方向移动且使表面处理液流出，在这种状态下，对配设于处理容器的阳极和配设于处理容器的外周方向的阴极之间通电，由此进行电镀处理；和

控制部，该控制部具有存储多个运转条件参数的存储部，并且基于存储在该存储部的运转条件参数，进行所述表面处理部的控制，

所述旋转表面处理装置的运转条件确定方法的特征在于，

存储在所述存储部的运转条件参数由流动参数和通电参数构成，

以存储在所述运转条件存储部的流动参数为第1运转条件，在不进行通电的状态下，所述控制部控制所述镀敷处理部而进行第1试验运转，

进而，考虑所述第1试验运转的结果，以存储在所述运转条件存储部的通电参数为第2运转条件，在进行了通电的状态下，根据所述第2运转条件，所述控制部进行第2试验运转，

基于所述第2试验运转的结果，将被选择为最佳运转条件的运转条件记录在所述存储部。

2.如权利要求1所述的旋转表面处理装置的运转条件确定方法，其特征在于，

所述流动参数至少由旋转加速时间、旋转减速时间、等速旋转时间和等速转速构成。

3.如权利要求2所述的旋转表面处理装置的运转条件确定方法，其特征在于，

所述等速转速被设定为多个阶段。

4.如权利要求1所述的旋转表面处理装置的运转条件确定方法，其特征在于，

所述通电参数至少由镀敷电流和镀敷时间构成。

5.如权利要求1所述的旋转表面处理装置的运转条件确定方法，其特征在于，

在第2试验运转中，当与由镀敷电流和镀敷时间相乘计算出的预定的镀敷电量对应的循环结束时，自动停止通电。

6.如权利要求1所述的旋转表面处理装置的运转条件确定方法，其特征在于，

所述旋转表面处理装置具备参数输入部，

在所述参数输入部所显示的所述运转条件参数的画面上，与各种参数值的输入栏相对应地，将运转模式的曲线图一并显示。

7.一种旋转表面处理装置的运转条件确定方法，该运转条件确定方法用于确定旋转表面处理装置的运转条件，该旋转表面处理装置用于对被处理物进行所期望的电镀处理，并且该装置具有如下部分：

表面处理部，其使保持着表面处理液和被处理物的处理容器旋转，以使被处理物向处理容器的外周方向移动且使表面处理液流出，在这种状态下，对配设于处理容器的阳极和配设于处理容器的外周方向的阴极之间通电，由此进行电镀处理；和

控制部，该控制部具有存储多个运转条件参数的存储部，并且基于存储在该存储部的运转条件参数，进行所述表面处理部的控制，

所述旋转表面处理装置的运转条件确定方法的特征在于，

存储在所述存储部的运转条件参数由流动参数和通电参数构成，

在所输入的或预先存储在运转条件存储部的运转条件下进行镀敷处理的预备试验运转，

根据基于所述预备试验运转结果变更了第1试验运转中的所述流动参数而得到的第1运转条件，在不进行通电的状态下，所述控制部控制所述表面处理部而进行第1试验运转，

进而，考虑所述第1试验运转的结果，以存储在所述运转条件存储部的通电参数为第2运转条件，在进行了通电的状态下，根据所述第2运转条件，所述控制部进行第2试验运转，

基于所述第2试验运转的结果，将被选择为最佳运转条件的运转条件记录在所述存储部。

8.如权利要求7所述的旋转表面处理装置的运转条件确定方法，其特征在于，

预备试验运转中所用的运转条件参数按照被处理物的类型而预先存储于存储部。