[发明专利]高频探针

权利要求书

1.一种高频探针，其特征在于，包括有：

一金属针，具有一针尖、一针尾及介于该针尾与针尖之间的一固定部，该针尖用以点触电子元件，该针尾及该固定部用以固定于测试用电路板上；

至少一金属线，是布设于该金属针上；以及，

至少一绝缘层，是设于该金属针及该金属线之间。

2.依据权利要求1项所述的高频探针，其特征在于，其中该绝缘层以同轴环绕该金属线，该绝缘层为具有特定的一壁面厚度，该金属针与金属线的间距即为该壁面厚度。

3.依据权利要求1项所述的高频探针，其特征在于，其中该高频探针的最大径长是相当于两倍的该金属针的径长。

4.依据权利要求1项所述的高频探针，其特征在于，其中该高频探针的最大径长是小于两倍的该金属针的径长。

5.依据权利要求1项所述的高频探针，其特征在于，其中该绝缘层以同轴环绕该金属针，该绝缘层为具有特定的一壁面厚度，该金属针与金属线的间距即为该壁面厚度。

6.依据权利要求1项所述的高频探针，其特征在于，其中具有二金属线，并列设于该金属针的两侧。

7.依据权利要求1项所述的高频探针，其特征在于，其中该至少一金属线是电性连接至接地电位。

8.依据权利要求7项所述的高频探针，其特征在于，其中该至少一金属线是自该金属针的针尾延伸布设至该金属针的针尖与固定部之间。

9.依据权利要求1项所述的高频探针，其特征在于，其中该至少一金属线是电性连接至该金属针的针尖。

10.依据权利要求9项所述的高频探针，其特征在于，其中具有至少二金属线，其中一金属线是电性连接至接地电位

11.依据权利要求10项所述的高频探针，其特征在于，其中该至少二金属线是自该金属针的针尾延伸布设至该金属针的针尖与固定部之间。

12.一种高频探针卡，用以传输测试信号以对电子元件做电性测试，其特征在于，包括有：

一电路板，定义有上、下相对的一上表面及一下表面，该上表面用以电性连接测试机台以对上述电子元件做电性测试，该电路板布设有多数个信号电路及接地电路，与各该信号电路相邻特定的间距上设有至少一该接地电路，该些接地电路电性导通至接地电位；

一针座，设于该电路板的下表面；以及，

多数个信号探针及接地探针，各该信号探针具有一金属针及至少一导线，该导线布设于该金属针上且电性连接该接地探针，该导线与该金属针之间为相互电性绝缘，各该金属针及接地探针皆具有一针尖、一针尾及介于该针尾与针尖之间的一固定部，该针尖用以点触上述电子元件，该固定部为固定于该针座上，该金属针的针尾电性连接该信号电路，该接地探针的针尾电性连接该接地电路。

13.依据权利要求12项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该导线具有一金属线及一绝缘层，该金属线的两端分别与该接地探针及该接地电路相接设，该绝缘层以同轴环绕该金属线。

14.依据权利要求12项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该导线是为一金属线，该信号探针更具有一绝缘层，该绝缘层以同轴环绕该金属针。

15.依据权利要求12项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该至少一导线是自该金属针的针尾延伸布设至该金属针的针尖与固定部之间。

16.依据权利要求12项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该信号探针的最大径长是相当于两倍的该金属针的径长。

17.依据权利要求12项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该信号探针的最大径长是小于两倍的该金属针的径长。

18.依据权利要求12项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该信号探针具有二导线，并列设于该金属针的两侧。

19.依据权利要求12项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该电路板的信号电路具有相邻二信号线路，该二信号线路的两侧相邻特定间距上各设至少一该接地电路。

20.依据权利要求19项所述的高频探针卡，其特征在于，其中该二信号线路用以传输差动信号对。