[发明专利]具有薄膜图案层的基板的制造方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种具有薄膜图案层的基板的制造方法。

【背景技术】

目前制造薄膜图案层的方法主要包括：光微影法及喷墨法。

当采用光微影法时，需在一个基板上涂敷一层光阻材料层。根据预计形成的薄膜图案层，制作多个光罩，在一个基板反复进行涂敷光阻层，采用该光罩对该光阻层进行曝光及显影，一直到图案层完成。但是，该光微影法需要使用大型设备，其制造成本相应增加。

参照图7，喷墨法通常包括如下步骤：将适量的墨水填充在由基板300上的多个挡墙304围成的多个收容空间中；固化墨水而形成薄膜图案层314。

但是，如图7所示，由于墨水与挡墙304的接触角较小，故会产生与挡墙接触处墨水面较高。待墨水干燥后，产生薄膜图案层314厚度不均匀的状况，而需进一步处理以使得表面平坦。其制造时间相应增加。

【发明内容】

有鉴于此，有必要提供一种具有薄膜图案层的基板的制造方法，该薄膜图案层具有较高的表面平坦度。

一种具有薄膜图案层的基板的制造方法，其步骤如下：

提供一预成型的基板，其具有多个具有排斥墨水性能的挡墙，该多个挡墙间形成多个收容空间；将含有可固化成分的墨水分别填充在该多个收容空间中，其中收容于各收容空间的墨水体积大于其所对应的收容空间的容积；固化墨水而使该墨水中的可固化成分在该收容空间中形成薄膜图案层。

一种具有薄膜图案层的基板的制造方法，其步骤如下：

提供一预成型的基板，其具有多个具有排斥墨水性能的挡墙，该多个挡墙间形成多个收容空间；将含有可固化成分的墨水分别填充在该多个收容空间中，并使各收容空间中的墨水的可固化成份的体积与该收容空间的容积大致相同，其中收容于各收容空间的墨水体积大于其所对应的收容空间的容积；固化墨水而使该墨水中的可固化成分在该收容空间中形成薄膜图案层。

相较于现有技术，所述的薄膜图案层的制造方法，将过量墨水填充至两挡墙间形成的收容空间中，由于液体的表面张力特性，过量墨水会在各收容空间的开口上形成一鼓起的液面而不至于溢出。而于墨水干燥固化后，墨水中可固化成份留在收容空间中而形成薄膜图案层，该薄膜图案层的高度与挡墙的高度是大致相近。此制程可达到所需要的平坦度要求，解决一般喷墨式薄膜制程所造成的薄膜图案层不均匀的状况。

【附图说明】

图1是具有挡墙的预成型的基板的剖面示意图。

图2至图3是图1所示的预成型的基板的制造方法的示意图。

图4，图5及图6是使用图1所示的预成型的基板制造具有薄膜图案层的基板的方法的示意图。

图7是具有薄膜图案层的传统基板的剖面示意图。

【具体实施方式】

下面将结合附图对本发明作进一步的详细说明。

请一并参阅图1到图6，提供了一种其上具有薄膜图案层114的(例如，彩色层)基板100的制造方法。该方法步骤如下：提供一预成型的基板11，其具有多个挡墙104，该多个挡墙104间形成多个收容空间106；将含有可固化成分的墨水112(例如，彩色溶液)分别填充在该多个收容空间106中，其中收容于各收容空间的墨水112体积大于其所对应的收容空间106的容积；固化收容空间106中的墨水112以便该墨水112中的可固化成分在该收容空间106中形成薄膜图案层。

如图1所示，所提供的预成型的基板11包括一个基板100、多个形成在基板100上的挡墙104，以及由该多个挡墙104围成的多个收容空间106。该多个挡墙104以预计的图案排列并具有大致平坦的上表面1042。该多个收容空间106由该多个挡墙104限定而成。相邻的挡墙104由一个收容空间106分割开。该基板100材料选用玻璃。当然，基板材料也可选用石英玻璃、硅晶圆、金属或聚合物树脂等。该多个挡墙104通常由聚合物树脂制成。另外，该多个挡墙104可以由黑色树脂或类似物制成以用作黑色矩阵。

如图2及图3所示，该预成型的基板11的制造方法具体包括以下步骤：提供一个基板100；在该基板100上涂布一层光阻材料层202；利用一个光罩200曝光该光阻材料层202；以及，显影该光阻材料层202，形成多个挡墙104。