[发明专利]气体输送装置无效
| 申请号： | 200710004757.8 | 申请日： | 2007-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101235938A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 孙达生;施重庆;黄文旺 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 输送 装置 | ||
1. 一种气体输送装置，适用于配送一工艺气体至一使用点，包括：
一阀箱主体；
一升降装置，连接该阀箱主体，以调整该阀箱主体的位置；以及
一第一管件，该第一管件连接于该阀箱主体与该使用点之间。
2. 如权利要求1的气体输送装置，更包括一钢瓶，该钢瓶存放该工艺气体，且该钢瓶的一接头设置于该阀箱主体内。
3. 如权利要求2的气体输送装置，其中该第一管件连接该钢瓶的该接头。
4. 如权利要求2的气体输送装置，其中该钢瓶包括Y型气体钢瓶。
5. 如权利要求1的气体输送装置，其中该升降装置包括一千斤顶。
6. 如权利要求1的气体输送装置，其中该第一管件由一可挠性管构成。
7. 如权利要求1的气体输送装置，其中该第一管件包括一第一缓冲部，用以使该第一管件配合该阀箱主体的高度作伸缩。
8. 如权利要求1的气体输送装置，其中该第一缓冲部由该可挠性管弯曲成弹簧状而构成。
9. 如权利要求1的气体输送装置，其中该第一管件的材质包括不锈钢。
10. 如权利要求1的气体输送装置，更包括一第二管件，连接至该阀箱本体内，用以排放该阀箱本体内的气体。
11. 如权利要求10的气体输送装置，其中该第二管件包括一第二缓冲部，用以使该第二管件配合该阀箱主体的高度作伸缩。
12. 如权利要求11的气体输送装置，其中该第二缓冲部由可挠性管构成。
13. 如权利要求11的气体输送装置，其中该第二缓冲部由蛇腹管构成。
14. 如权利要求10的气体输送装置，其中该第二管件的材质包括不锈钢。
15. 如权利要求1的气体输送装置，更包括多个第三管件，连接该阀箱本体，用以供应气体至该阀箱本体内。
16. 如权利要求15的气体输送装置，其中该些第三管件分别由一可挠性管构成。
17. 如权利要求16的气体输送装置，其中各该些第三管件包括一第三缓冲部，用以使该些第三管件配合该阀箱主体的高度作伸缩。
18. 如权利要求16的气体输送装置，其中该第三缓冲部由该可挠性管弯曲成弹簧状而构成。
19. 如权利要求15的气体输送装置，其中该些第三管件的材质包括不锈钢。
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