[发明专利]气体输送装置无效
申请号: | 200710004757.8 | 申请日: | 2007-01-30 |
公开(公告)号: | CN101235938A | 公开(公告)日: | 2008-08-06 |
发明(设计)人: | 孙达生;施重庆;黄文旺 | 申请(专利权)人: | 力晶半导体股份有限公司 |
主分类号: | F17D1/02 | 分类号: | F17D1/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 输送 装置 | ||
1. 一种气体输送装置,适用于配送一工艺气体至一使用点,包括:
一阀箱主体;
一升降装置,连接该阀箱主体,以调整该阀箱主体的位置;以及
一第一管件,该第一管件连接于该阀箱主体与该使用点之间。
2. 如权利要求1的气体输送装置,更包括一钢瓶,该钢瓶存放该工艺气体,且该钢瓶的一接头设置于该阀箱主体内。
3. 如权利要求2的气体输送装置,其中该第一管件连接该钢瓶的该接头。
4. 如权利要求2的气体输送装置,其中该钢瓶包括Y型气体钢瓶。
5. 如权利要求1的气体输送装置,其中该升降装置包括一千斤顶。
6. 如权利要求1的气体输送装置,其中该第一管件由一可挠性管构成。
7. 如权利要求1的气体输送装置,其中该第一管件包括一第一缓冲部,用以使该第一管件配合该阀箱主体的高度作伸缩。
8. 如权利要求1的气体输送装置,其中该第一缓冲部由该可挠性管弯曲成弹簧状而构成。
9. 如权利要求1的气体输送装置,其中该第一管件的材质包括不锈钢。
10. 如权利要求1的气体输送装置,更包括一第二管件,连接至该阀箱本体内,用以排放该阀箱本体内的气体。
11. 如权利要求10的气体输送装置,其中该第二管件包括一第二缓冲部,用以使该第二管件配合该阀箱主体的高度作伸缩。
12. 如权利要求11的气体输送装置,其中该第二缓冲部由可挠性管构成。
13. 如权利要求11的气体输送装置,其中该第二缓冲部由蛇腹管构成。
14. 如权利要求10的气体输送装置,其中该第二管件的材质包括不锈钢。
15. 如权利要求1的气体输送装置,更包括多个第三管件,连接该阀箱本体,用以供应气体至该阀箱本体内。
16. 如权利要求15的气体输送装置,其中该些第三管件分别由一可挠性管构成。
17. 如权利要求16的气体输送装置,其中各该些第三管件包括一第三缓冲部,用以使该些第三管件配合该阀箱主体的高度作伸缩。
18. 如权利要求16的气体输送装置,其中该第三缓冲部由该可挠性管弯曲成弹簧状而构成。
19. 如权利要求15的气体输送装置,其中该些第三管件的材质包括不锈钢。
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