[发明专利]用于清洁离子注入机的静电吸盘的装置

权利要求书

1、一种用于清洁离子注入机中的静电吸盘的装置，所述装置包括：

电源，用于产生热丝电压；

静电吸盘，用于吸入晶片；

热丝，安装在所述静电吸盘的内部，通过由所述电源提供的热丝电压驱动所述热丝，用于从所述静电吸盘发热。

2、如权利要求1所述的装置，还包括开关，接通/断开所述开关以向所述热丝提供所述热丝电压。

3、如权利要求1所述的装置，还包括电压控制器，用于控制由所述电源提供的电压。

4、如权利要求3所述的装置，其中，所述热丝通过热使吸到所述静电吸盘的表面的颗粒漂浮。

5、如权利要求4所述的装置，还包括低温泵，用于执行抽气操作，以排放吸到所述静电吸盘的由于所述热丝而漂浮的颗粒。

6、如权利要求1所述的装置，其中，所述电源包括第一电源、第二电源、第三电源和热丝电压提供装置。

7、如权利要求6所述的装置，其中，所述第一电源向所述静电吸盘提供第一正功率和第一负功率，所述第二电源向所述静电吸盘提供第二正功率和第二负功率，所述第三电源向所述静电吸盘提供第三正功率和第三负功率。

8、如权利要求6所述的装置，其中，所述热丝电压提供装置向所述热丝提供所述热丝电压。

9、一种用于清洁离子注入机中的静电吸盘的装置，所述装置包括：

电源，用于产生热丝电压；

静电吸盘，用于吸入晶片；

热丝，安装在所述静电吸盘的内部，通过由所述电源提供的热丝电压驱动所述热丝，用于从所述静电吸盘发热，以使吸到所述静电吸盘表面的颗粒漂浮；

开关，用来向所述热丝提供所述热丝电压；

低温泵，用于执行抽气操作，以排放已吸到所述静电吸盘后由于所述热丝而漂浮的颗粒。

10、如权利要求9所述的装置，其中，所述电源包括第一电源、第二电源、第三电源和热丝电压提供装置。

11、如权利要求10所述的装置，其中，所述第一电源向所述静电吸盘提供第一正功率和第一负功率，所述第二电源向所述静电吸盘提供第二正功率和第二负功率，所述第三电源向所述静电吸盘提供第三正功率和第三负功率。

12、如权利要求9所述的装置，还包括电压控制器，用于控制由所述电源提供的电压。