[发明专利]一种多晶硅的提纯方法及其凝固装置有效
申请号: | 200710009237.6 | 申请日: | 2007-07-17 |
公开(公告)号: | CN101092740A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
发明(设计)人: | 杨继荣;孙坤泽;洪永强 | 申请(专利权)人: | 佳科太阳能硅(厦门)有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C01B33/021 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人: | 马应森 |
地址: | 361021福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 提纯 方法 及其 凝固 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种多晶硅,尤其是涉及一种可以简单的实现硅液的定向凝固,达到提纯目的的方法和装置。
背景技术
在冶炼法提纯金属硅技术中,由于金属元素在硅液中的分凝系数远小于1,因此定向凝固是一个很有效的手段,它可以高效地去除金属硅中的Fe,Al,Ca,Ti,Ni等金属元素。但是现有的定向凝固炉价格昂贵,且不易实现。
在冶炼法提纯金属硅技术中,由于金属元素在硅液中的分凝系数远小于1,因此定向凝固是一个很有效的手段,它可以高效地去除金属硅中的Fe,Al,Ca,Ti,Ni等金属元素。吴亚萍等(吴亚萍,张剑,高学鹏,等.多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究.特种铸造及有色合金,2006,12:792~794)以低成本工业硅制得高纯多晶硅锭为目的,自行研制了一台将真空感应熔炼技术与定向凝固技术相结合的试验装置,并在此基础上进行了工业硅的真空感应熔炼及定向凝固试验,采用真空感应熔炼方法直接由工业硅制得多晶硅锭。但是设备复杂,产量低,且不易实现。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单的多晶硅定向凝固装置。
本发明的另一目的在于提供一种设备简单、投入少和能耗小的多晶硅的提纯方法。
本发明的技术方案是根据近平衡凝固的原理,采用精确控制炉温随时间变化的焦炭炉作为定向凝固装置对金属硅进行方向性的缓慢凝固而高效地去除金属硅中的Fe,Al,Ca,Ti,Ni等金属元素。
本发明所述的多晶硅定向凝固装置,即精确控制炉温随时间变化的焦炭炉,设有炉体、炉盖、耐火保温层、焦炭燃烧室、石墨容器和温度控制系统,炉体由外壳和内衬组成,外壳下方设有进气口,内衬设于外壳内侧;炉盖位于炉体正上方,炉盖设有吊钩、排气口和加料口;焦炭燃烧室设于耐火保温层的内部区域,焦炭燃烧室的下方构筑炉桥,炉桥下方与炉体侧面进气口相通;石墨容器位于焦炭燃烧室正中间,石墨容器用于硅液的凝固。
炉体最好为方型结构,外壳可采用角铁和钢板焊接成形,内衬可采用石棉板保温内衬。炉盖可由内层和外层组成,内层为钢层,外层为耐火泥层。耐火保温层可为耐火砖砌筑的耐火砖保温层,焦炭燃烧室可呈方形。
石墨容器最好为方形石墨容器,可由石墨加工而成;或由5块方形石墨板拼装而成方形石墨容器,方形石墨容器四周的石墨板采用齿状榫头连接,5块方形石墨板之间的连接面内侧夹角采用烧结粘接剂粘接,保证硅液长时间处于液态也不会漏,另有1块方形石墨板作为方形石墨容器的容器盖。
温度控制系统可设有热电偶、信号处理模块、模/数转换模块、可编程控制器、微机、输出控制模块和鼓风机。热电偶安装在炉体侧面中部,热电偶接信号处理模块的输入端;信号处理模块的输出端接模/数转换模块的输入端,模/数转换模块与可编程控制器的输入端连接,输出控制模块与可编程控制器的输出端连接,输出控制模块的输出端接鼓风机,鼓风机位于炉体两侧面的进气口。
热电偶可采用铂铑热电偶,热电偶用于检测焦炭燃烧室的温度,间接检测石墨容器中硅液的温度。
本发明所述的多晶硅的提纯方法,其步骤为:
1)将3N金属硅硅粉100~250kg投入中频感应炉熔化成硅水,去除杂质;
2)将石墨容器放置于焦炭燃烧室底部的底座和炉桥的正上方,将正在燃烧的焦炭放入焦炭燃烧室,焦炭的高度高于石墨容器;盖上炉盖,开启鼓风机燃烧焦炭,加热石墨容器;
3)焦炭炉石墨容器的温度加热至1100℃以上(石墨容器通红至微发白),中频感应炉将金属硅液体温度加热至1550~1800℃,将整台焦炭炉运送到中频感应炉前,吊开炉盖,将金属硅液体倒入石墨容器,硅水倒至离石墨容器上端口15~20cm处,在硅水上方覆盖稻壳,然后盖上石墨容器的容器盖。
4)将整台焦炭炉从中频感应炉前运送回到原来的位置,安装连接热电偶,焦炭燃烧室加焦炭,焦炭炉的温度升至1300~1450℃,再使焦炭炉的温度按照2~10℃/h的速度下降,到焦炭炉的温度降至700~900℃停止鼓风,自然降温至600℃以下,揭开盖子,当温度下降至80℃以下时,取出硅锭,即得到提纯的多晶硅。
在步骤1)中,将3N金属硅硅粉100~250kg投入中频感应炉熔化成硅水,通过控制硅水温度,通气造渣精炼手段去除部分杂质。
在步骤2)中,所述的焦炭的高度高于石墨容器最好5cm,注意焦炭的燃烧良好。
在步骤3)中,所述的整台焦炭炉运送可使用行车或叉车。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳科太阳能硅(厦门)有限公司,未经佳科太阳能硅(厦门)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710009237.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。