[发明专利]横向剪切干涉仪的胶合检测方法

权利要求书

1.一种横向剪切干涉仪的胶合检测方法，该方法包括以下实现步骤：

(i)在待胶合横向剪切干涉仪(401)的上、下两棱镜的胶合面上均匀地涂覆光学胶，然后竖直放置于调整平台(403)上的光学平板(402)上；

(ii)由激光器(1)输出的激光经散射板(2)散射，经平行光管(3)扩束后，形成均匀平行光，照在待胶合横向剪切干涉仪(401)上；

(iii)用数码相机(5)接收待胶合横向剪切干涉仪(401)出射端形成的干涉条纹，并在计算机(6)的显示屏上实时显示；

(iv)理论计算N₀个干涉条纹占数码相机(5)的CCD像元数M₀：

M0=f′Δ·d·N0·λ]]>

其中，λ为激光器(1)输出的激光波长，f′为数码相机(5)的焦距，d为CCD像元尺寸，Δ为设计要求的横向剪切量；

(v)使被胶合的、尚未固化的两棱镜作微量相对移动，读取N₀个干涉条纹占数码相机(5)的CCD像元数M；直到CCD像元数M为M₀时，停止移动，使两棱镜定位；

(vi)固化两棱镜间的胶。

2.根据权利要求1所述的横向剪切干涉仪的胶合检测方法，其特征在于：所述的平行光管(3)为带十字丝的平行光管，所述平行光管(3)的十字丝竖线和横线分别呈大地垂直及水平状态；所述光学平板(402)的上表面呈大地水平状态；所述数码相机(5)的光轴经标准干涉仪定位、且与平行光管(3)经标准干涉仪折转后的光轴重合；所述数码相机(5)的列像元呈大地垂直状态，所述数码相机(5)的行像元呈大地水平状态。

3.根据权利要求1或2所述的横向剪切干涉仪的胶合检测方法，其特征在于：所述的设计要求的横向剪切量Δ、激光器(1)输出的激光波长λ、数码相机(5)的焦距f′及CCD像元尺寸d满足下列条件：

f′·λ＝ψΔ·d。

所述ψ的取值范围为5-6。

4.根据权利要求3所述的横向剪切干涉仪的胶合检测方法，其特征在于，所述N₀个干涉条纹占数码相机(5)的CCD像元数M₀中，干涉条纹数N₀及CCD像元数M₀满足下列条件：

M₀≥120，

M₀/N₀为5～6。

5.根据权利要求4所述的横向剪切干涉仪的胶合检测方法，其特征在于：所述的激光器(1)为气体激光器。

6.根据权利要求5所述的横向剪切干涉仪的胶合检测方法，其特征在于：所述的光学胶为紫外光敏胶，所述固化两棱镜间的胶是用紫外光照射实现固化。

7.根据权利要求6所述的横向剪切干涉仪的胶合检测方法，其特征在于：所述的调整平台(403)是具有三个平移和三个旋转自由度的调整平台。