[发明专利]横向剪切干涉仪的胶合检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种横向剪切干涉仪的胶合、检测方法。

背景技术

横向剪切干涉仪是各类空间调制型干涉光谱仪及干涉成像光谱仪中的核心部件，横向剪切干涉仪的横向剪切量，是由两棱镜的胶合面半透半反性以及不完全对称性产生的。由于横向剪切干涉仪的横向剪切量值决定了干涉仪的最大光程差OPD_max，而最大光程差又决定了光谱分辨率δσ，

δσ=12·OPDmax]]>

当实际胶合、检测的横向剪切量小于设计值时，仪器将达不到设计要求的光谱分辨率。当实际胶合、检测的横向剪切量大于设计值时，由于它是一个周期函数，会造成复原光谱相互混叠。所以，干涉仪胶合的核心技术是使实际胶合、检测的横向剪切量尽可能接近设计值。

横向剪切干涉仪的传统胶合方法主要依赖加工精度和装配人员的经验，横向剪切量的准确度控制困难。

发明内容

本发明的目的在于提供一种横向剪切干涉仪的胶合检测方法，以解决了背景技术中横向剪切干涉仪的横向剪切量难以准确控制的技术问题。

本发明的技术解决方案如下：

一种横向剪切干涉仪的胶合检测方法，该方法包括以下实现步骤：

(i)在待胶合横向剪切干涉仪401的上、下两棱镜的胶合面上均匀地涂覆光学胶，然后竖直放置于精密调整平台403上的高精度光学平板402上；

(ii)由激光器1输出的激光经散射板2散射，经平行光管3扩束后，形成均匀平行光，照在待胶合横向剪切干涉仪401上；

(iii)用数码相机5接收待胶合横向剪切干涉仪401出射端形成的干涉条纹，并在计算机6的显示屏上实时显示；

(iv)理论计算N₀个干涉条纹占数码相机5的CCD像元数M₀：

M0=f′Δ·d·N0·λ]]>

其中，λ为激光器1输出的激光波长，f′为数码相机5的焦距，d为CCD像元尺寸，Δ为设计要求的横向剪切量；

(v)使被胶合的、尚未固化的两棱镜作微量相对移动，读取N₀个干涉条纹占数码相机5的CCD像元数M；直到CCD像元数M为M₀时，停止移动，使两棱镜定位；

(vi)固化两棱镜间的胶。

上述平行光管3以采用为带十字丝的平行光管为宜，所述平行光管3的十字丝竖线和横线分别呈大地垂直及水平状态；所述高精度光学平板402的上表面呈大地水平状态；所述数码相机5的光轴经标准干涉仪定位、且与平行光管3经标准干涉仪折转后的光轴重合；所述数码相机5的列像元呈大地垂直状态，所述数码相机5的行像元呈大地水平状态。

上述设计要求的横向剪切量Δ、激光器1输出的激光波长λ、数码相机5的焦距f′及CCD像元尺寸d，以满足下列条件为佳：

f′·λ＝ψΔ·d。

所述ψ的取值范围为5-6。

上述N₀个干涉条纹占数码相机5的CCD像元数M₀中，干涉条纹数N₀及CCD像元数M₀，以满足下列条件为佳：

M₀≥120；M₀/N₀为5～6。

数码相机5的焦距f的标定不确定度δf、激光器1的激光波长λ的标定不确定度δλ以及CCD像元尺寸d的标定不确定度δd综合误差控制在5‰以内，剪切量的误差小于1％，满足条纹信噪比。