[发明专利]用于清洗硅片的刷片头

权利要求书

1.一种用于清洗硅片的刷片头，其特征在于，所述刷片头包括至少两个刷子，且该至少两个刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动，通过该至少两个刷子的不一样的转速，对硅片表面的各种颗粒形成不同频率的冲击力，该冲击力的频率接近每一种颗粒脱离硅片表面的共振频率，从而提高颗粒去除率。

2.如权利要求1所述的刷片头，其特征在于，所述刷子驱动机构包含行星齿轮、动力齿轮、马达、轴承、以及连接器支架，该动力齿轮通过轴承与马达连接，并由该马达带动动力齿轮，所述行星齿轮与动力齿轮以相互啮合的方式连接、并在该动力齿轮的带动下作相对转动，所述连接器支架用于固连行星齿轮，在该行星齿轮与动力齿轮的转轴下方各设有刷子。

3.如权利要求2所述的刷片头，其特征在于，所述行星齿轮大小不同。

4.如权利要求2或3所述的刷片头，其特征在于，所述刷子对硅片的垂直压力和位置可通过机械螺丝调节的方法进行调节。