[发明专利]用于清洗硅片的刷片头

说明书

技术领域

本发明涉及硅片表面清洗设备的刷片头，尤其涉及一种能提高刷片效率的刷片头。

背景技术

目前刷片机的刷片头(刷子)在刷洗硅片背面时仅仅依靠硅片本身的自转和刷子的简单自转来加强清洗效率。而且，由于硅片和刷子的运动比较慢，在相对较长的时间内没有往复运动(仅做水平移动)，颗粒清洗效率不高。此外，由于颗粒不能及时脱离刷子，并过长时间停留在刷子毛之间，该颗粒容易对硅片表面产生划伤和二次沾污。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种用于清洗硅片的刷片头，能有效提高硅片表面颗粒的去除率，并减少停留于刷子毛之间的颗粒对硅片表面产生的划伤和二次沾污。

为了解决上述技术问题，本发明用于清洗硅片的刷片头，包括至少两个刷子，且该刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动，且该至少两个刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动，通过该至少两个刷子的不一样的转速，对硅片表面的各种颗粒形成不同频率的冲击力，该冲击力的频率接近每一种颗粒脱离硅片表面的共振频率，从而提高颗粒去除率。

由于采用上述技术方案，本发明的用于清洗硅片的刷片头，通过多个刷子不一样的转速，对硅片表面的各种颗粒形成不同频率的冲击力，该冲击力的频率接近每一种颗粒脱离硅片表而的共振频率，从而提高颗粒去除率，并且由于刷子通过齿轮带动，各刷子之间的间隙有利于颗粒及时脱离刷子，减少由于颗粒过长时间停留在刷子毛之间所产生的对硅片表面的划伤和二次沾污。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

附图是本发明的一个实施例中由动力齿轮带动两个行星齿轮构成的刷片头的示意图。

具体实施方式

本发明的用于清洗硅片的刷片头，包括多个刷子，且该刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动。可运用行星齿轮使刷子产生不同转速。

如附图所示，在本发明的一个实施例中，所述刷子驱动机构包含行星齿轮1、动力齿轮2、马达4、轴承5、以及连接器支架6，该动力齿轮2通过轴承5与马达4连接，并由该马达4带动动力齿轮2，所述行星齿轮1与动力齿轮2以相互啮合的方式连接、并在该动力齿轮2的带动下作相对转动，所述连接器支架6用于固连行星齿轮1，在该行星齿轮1与动力齿轮2的转轴下方各设有刷子3，且每个刷子3对硅片的垂直压力和位置可通过机械螺丝调节的方法进行调节。

在本发明的另一个实施例中，所述刷子驱动机构包含行星齿轮、动力齿轮、第一马达、第二马达、第一轴承、第二轴承以及连接器支架，该动力齿轮通过第一轴承与第一马达连接，并由该第一马达带动动力齿轮，所述行星齿轮通过第二轴承与第二马达连接，并由该第二马达带动行星齿轮，所述连接器支架用于固连行星齿轮，在该行星齿轮与动力齿轮的转轴下方各设有刷子，且每个刷子对硅片的垂直压力和位置可通过机械螺丝调节的方法进行调节。

本发明刷子驱动机构的驱动方式可以调整，例如，始终以同一转速作业，或者以不同转速交替作业，如以一定周期交替正转和反转。本发明可通过控制马达的转速和转动方向来控制动力齿轮的转动速度和转动方向，以使各个行星齿轮的转速和转动方向随动力齿轮的变化而变化。

本发明的连接器支架可以为圆型、三角型、十字型、星型等式样。刷子的刷头可选择不同类型，包括刷头的形状、毛的粗细、软硬、材质等都可不一样，刷头的材质包括尼龙、PVA(聚乙烯醇)。本发明的刷片头适用于各种硅片清洗设备，包括6、8、12、18等英寸硅片的制造设备。