[发明专利]化学机械研磨机台的维护方法无效
| 申请号： | 200710043874.5 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101347920A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科;张溢钢 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B37/04;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 机台 维护 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种化学机械研磨机台的维护方法，其特征在于：在完成研磨消耗品更换与维护后，同时执行研磨垫磨合和刷子磨合步骤。
2、如权利要求1所述的化学机械研磨机台的维护方法，其特征在于：所述的化学机械研磨机台包括研磨模块和清洗模块，所述的研磨垫磨合步骤和刷子磨合步骤分别同时在研磨模块和清洗模块上执行。
3、如权利要求2所述的化学机械研磨机台的维护方法，其特征在于：所述的研磨垫磨合和刷子磨合步骤需采用10～15片表面覆盖有二氧化硅薄膜的挡片。
4、如权利要求3所述的化学机械研磨机台的维护方法，其特征在于：所述的化学机械研磨机台还包括晶圆传送模块，用于将所述的挡片分别传送至研磨模块和清洗模块上。
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