[发明专利]一种光刻胶清洗剂

权利要求书

1.一种光刻胶清洗剂，其特征在于含有：氢氧化钾、二甲基亚砜、季戊四醇和醇胺。

2.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的氢氧化钾的含量为质量百分比0.1～10％。

3.如权利要求2所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的氢氧化钾的含量为质量百分比0.1～3％。

4.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的二甲基亚砜的含量为质量百分比20～98.8％。

5.如权利要求4所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的二甲基亚砜的含量为质量百分比50～98.4％。

6.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的季戊四醇的含量为质量百分比1～40％。

7.如权利要求6所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的季戊四醇的含量为质量百分比1～30％。

8.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、异丙醇胺、2-(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一种或多种。

9.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的醇胺的含量为质量百分比0.1～50％。

10.如权利要求9所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的醇胺的含量为质量百分比0.5～30％。

11.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的光刻胶清洗剂还含有缓蚀剂。

12.如权利要求11所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的缓蚀剂为酚类、羧酸类、羧酸酯类、2-基苯并噻唑类、苯并三氮唑类、酸酐类、膦酸和膦酸酯类缓蚀剂中的一种或多种。

13.如权利要求12所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的酚类为苯酚、1，2-二羟基苯酚、对羟基苯酚和连苯三酚中的一种或多种；所述的羧酸类为苯甲酸和/或对氨基苯甲酸；所述的羧酸酯类为对氨基苯甲酸甲酯、邻苯二甲酸、邻苯二甲酸甲酯、没食子酸和没食子酸丙酯中的一种或多种；所述的苯并三氮唑类为苯并三氮唑钾盐；所述的酸酐类为乙酸酐、己酸酐、马来酸酐和聚马来酸酐中的一种或多种；所述的磷酸类为1，3-(羟乙基)-2，4，6-三膦酸。

14.如权利要求11所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的缓蚀剂的含量为小于或等于质量百分比10％。

15.如权利要求14所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的缓蚀剂的含量为小于或等于质量百分比3％。