[发明专利]脉冲信号的逼近方法

权利要求书

1.一种脉冲信号的逼近方法，用于逼近实际工程中探测到的脉冲辐射探测信号，其特征在于，所述方法以脉冲衰减指数系数c为参数得到脉冲延续时间t与脉冲辐射信号逼近值f(t)的关系，所述关系由下式确定：

f(t)＝p(t)e^ct+h(t)

其中，脉冲辐射探测信号f(t)＞0，p(t)为关于脉冲延续时间t的多项式，.h(t)为关于脉冲延续时间t的直流漂移分量。

2.如权利要求1所述的脉冲信号的逼近方法，其特征在于，所述关于脉冲延续时间t的多项式为：

p(t)＝at²+bt，

其中，a和b为特定系数。

3.如权利要求2所述的脉冲信号的逼近方法，其特征在于，所述逼近方法在光刻装置的对准系统中对脉冲辐射探测信号的能量进行计算和对扩展采样进行同步校准。

4.如权利要求3所述的脉冲信号的逼近方法，其特征在于，通过运用所述逼近方法进行不同方向的对准扫描，用所得到的多个对准位置确定掩膜对准图形被投影系统投射成像的相对定位误差，所述多个对准位置是对掩膜上同一个掩膜对准图形进行多次多方向对准扫描获得，根据所述相对定位误差计算辐射发生器的激发控制信号与脉冲辐射信号扩展采样控制信号以及位置采样控制信号三者之间的时序关系。

5.如权利要求4所述的脉冲信号的逼近方法，其特征在于，所述公式中，f(t)＞0、a＜0、b＞0、c＜0、0≤t≤-b/a，c和b/a为常数。

6.如权利要求5所述的脉冲信号的逼近方法，其特征在于，所述脉冲辐射信号逼近值f(t)最大值出现的时刻为：

$t_{\max }=-\frac{1}{c}[(1-\frac{\mathrm{bc}}{2a})+\sqrt{1+{\left(\frac{\mathrm{bc}}{2a}\right)}^2}],$

且t_max为常数。

7.如权利要求6所述的脉冲信号的逼近方法，其特征在于，所述脉冲辐射信号逼近值f(t)最大值出现的时刻t_max用于校正脉冲辐射探测信号扩展采样同步的采样中心时序。