[发明专利]一种复合型铁电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种复合型铁电薄膜，其特征在于，按照摩尔百分比由1％～3％的BaMg₆Ti₆O₁₉和97％～99％的Ba_(1-x)Sr_xTiO₃组成，其中x＝0.2～0.7。

2.制备权利要求1所述的复合型铁电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、按照反应的产物为Ba_(1-x)Sr_xTiO₃ x＝0.2～0.7的配比，先将醋酸钡、醋酸锶在冰醋酸溶液中加热至沸腾，待冷却至室温时，再加入摩尔比为1∶2的钛酸四正丁酯和乙酰丙酮的混合溶液，形成Ba_(1-x)Sr_xTiO₃溶液；

B、将硝酸镁溶于乙二醇乙醚中，搅拌至完全溶解并使Mg在溶液中的摩尔百分比为20～30％的，并加入一定量的去离子水，最后将硝酸镁的乙二醇乙醚溶液加入步骤A获的溶液中，并用冰醋酸调整溶液的摩尔浓度至0.10～0.20M，放置24小时后形成前驱体溶胶；

C、将步骤B获得的前驱体溶胶通过旋转涂覆的方法在Al₂O₃基底上制成凝胶膜；

D、将凝胶膜直接在500℃的环境下处理5～10分钟，取出后冷却至室温，涂覆下一层凝胶膜，循环往复直到获得所需厚度的凝胶膜，再在1100℃下处理60～180分钟。