[发明专利]一种光刻胶清洗剂

权利要求书

1.一种光刻胶清洗剂，其特征在于，含有：季铵氢氧化物、聚羧酸类缓蚀剂、 芳基醇、二甲基亚砜和水，其中，所述的芳基醇选自苯甲醇、苯乙醇、二苯 甲醇、二苯乙醇、三苯甲醇、邻氨基苯甲醇、对氨基苯甲醇、邻氨基苯乙醇、 对氨基苯乙醇、甲基苯甲醇、甲基苯乙醇、二甲基苯甲醇、二甲基苯乙醇、 间甲氧基苯甲醇、对甲氧基苯甲醇、间甲氧基苯乙醇、对甲氧基苯乙醇、苄 氧基苯甲醇和二苄氧基苯甲醇中的一种或多种， 其中，所述的芳基醇的含量为质量百分比1～50％。

2.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的季铵氢氧化物的含 量为质量百分比0.1～10％。

3.如权利要求2所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的季铵氢氧化物的含 量为质量百分比0.5～5％。

4.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的季铵氢氧化物选自 四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵和苄 基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的芳基醇的含量为质 量百分比5～30％。

6.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的聚羧酸类缓蚀剂的 含量为质量百分比0.01～5％。

7.如权利要求6所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的聚羧酸类缓蚀剂的 含量为质量百分比0.05～2.5％。

8.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的聚羧酸类缓蚀剂选 自聚丙烯酸及其共聚物、聚甲基丙烯酸及其共聚物、聚丙烯酸醇胺盐、聚甲 基丙烯酸醇胺盐、聚氧乙烯改性聚丙烯酸及其衍生物、聚氧乙烯改性聚甲基 丙烯酸及其衍生物、聚环氧琥珀酸和聚天冬氨酸中的一种或多种。

9.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的水的含量为质量百 分比0.1～40％。

10.如权利要求9所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的水的含量为质量百 分比0.5～20％。

11.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的二甲基亚砜的含量 为质量百分比1～98.79％。

12.如权利要求11所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的二甲基亚砜的含 量为质量百分比50～90％。

13.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的光刻胶清洗剂还含 有极性有机共溶剂、表面活性剂和除聚羧酸类以外的其它缓蚀剂中的一种或 多种。

14.如权利要求13所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的极性有机共溶剂 的含量为质量百分比0～50％；所述的表面活性剂的含量为质量百分比0～5％； 所述的除聚羧酸类以外的其它缓蚀剂的含量为质量百分比0～10.0％。

15.如权利要求14所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的极性有机共溶剂 的含量为质量百分比5～30％；所述的表面活性剂的含量为质量百分比 0.05～3％；所述的除聚羧酸类以外的其它缓蚀剂的含量为质量百分比0.1～5％。

16.如权利要求15所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的极性有机共溶剂 选自亚砜、砜、咪唑烷酮、醇胺和烷基二醇单烷基醚中的一种或多种；其中 烷基二醇单烷基醚中烷基二醇的碳原子数目为3～18。

17.如权利要求16所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的亚砜为二乙基亚 砜和/或甲乙基亚砜；所述的砜为甲基砜、乙基砜和环丁砜中的一种或多种； 所述的咪唑烷酮为2-咪唑烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮和1，3-二乙基-2-咪唑 烷酮中的一种或多种；所述的醇胺类化合物为一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇 胺、异丙醇胺、甲基二乙醇胺、二甲基乙醇胺和羟乙基乙二胺中的一种或多 种；所述的烷基二醇单烷基醚为二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二 醇单丁醚、丙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚和二丙二醇单 丁醚中的一种或多种。