[发明专利]一种精密提升装置无效
申请号: | 200710045581.0 | 申请日: | 2007-09-04 |
公开(公告)号: | CN101164859A | 公开(公告)日: | 2008-04-23 |
发明(设计)人: | 肖可云;袁志扬;严天宏 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | B66F7/06 | 分类号: | B66F7/06;B66F7/28 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精密 提升 装置 | ||
1.一种精密提升装置,包括承载板(4),提升机构(6),上面板(601),下面板(602),驱动装置(19),其特征在于,所述的提升机构(6)由两个以上的提升单元并联组成,所述的提升单元由两个X型桁架通过铰链连接,所述的驱动装置(19)装配在所述的铰链连接处。
2.如权利要求1所述的一种精密提升装置,其特征在于,该装置还包括一个固定装置,固定在下面板(602)上。
3.如权利要求1所述的一种精密提升装置,其特征在于,该装置还包括一个滚动装置,固定在下面板(602)上。
4.权利要求1所述的一种精密提升装置,其特征在于,该装置还包括一个高度限位机构,固定在承载板(4)的一端。
5.如权利要求4所述的一种精密提升装置,其特征在于,所述的高度限位机构包括:弹簧(23)、螺母(25)、螺杆(26),其中弹簧(23)和螺母(25)套在螺杆(26)上,螺母(25)在弹簧(23)的上部。
6.如权利要求4所述的一种精密提升装置,其特征在于,所述高度限位机构的螺杆(26)的顶部安装有橡胶端盖(27)。
7.如权利要求4所述的一种精密提升装置,其特征在于,所述的高度限位机构中,橡胶端盖(27)的顶面高于待安装部件的上部安装面。
8.如权利要求1所述的一种精密提升装置,其特征在于,所述的高度限位机构的螺杆(26)顶端安装有一个接近开关。
9.如权利要求2所述的一种精密提升装置,其特征在于,所述的固定装置为真空吸附机构或者螺栓连接固定装置。
10.如权利要求9所述的一种精密提升装置,其特征在于,所述的真空吸附机构包括:气管(8)、弹簧(11)、滑杆(12)、吸附垫(13)、气管(28),其中,吸附垫(13)安装在滑杆(12)的一端,弹簧(11)套在滑杆(12)上,滑杆(12)固定在下面板(602)上,第一气管(8)和第二气管(28)与滑杆(12)的另一端相连。
11.如权利要求1所述地一种精密提升装置,其特征在于,所述的驱动装置(19)可以是手轮或者电动驱动装置。
12.如权利要求3所述的一种精密提升装置,其特征在于所述的滚动装置可以是钢珠滚轮机构(16)或者万向脚轮装置。
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