[发明专利]一种精密提升装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种提升装置，尤其涉及一种精密仪器安装的提升装置。

背景技术

对于剪式升降台来说，本身最小高度一般较小，但是在实际工作中往往需要提升较大的高度，所以外形尺寸一般比较大，这样一来就会降低提升精度。同时提升时会有较大的振动，不能用于提升高精密设备。并且整个升降台不能灵活移动和旋转，在整个提升过程中，没有高度限位机构，完全依赖目测，很难达到精确对准。不管升降方式采用手动、气动、液压、油压还是电动，整个升降台的重量都较重，搬运不方便。

中国专利CN2761570Y公布了一种气动剪式升降台，包括底架、台面板和举升撑臂，台面板由举升撑臂撑于底架上，在底架上装有气动千金顶，该气动千斤顶的活塞杆与举升撑臂相连接。该气动剪式升降台主要应用于摩托车修理，但是该装置不能用于精确对准，因而不能适用于精密仪器的安装，并且它的灵敏度有限。

在光刻机整机集成过程中，大多数部件都需要精密提升工装，将部件精密提升到安装位置，实现机械接口的连接。调焦调平部件就是一个精密测量部件，在安装过程中，不能有大的震动，在它周围有许多已经安装好的精密部件，但调焦调平部件本身较大，给的安装空间有限，所以要求工装能灵活自由移动和旋转，当到达定位点后能快速固定，无需机械连接，而目前的提升装置都不能满足这样的要求。

发明内容

本发明提供了一种精密提升装置，它体积小，质量小，提升高度和负载都比较大，并且可以灵活的移动和旋转，稳定性也较好，适用于精密仪器的安装，并且该装置中还有高度限位机构，能保证提升过程中的安全性。

为解决上述技术问题，本发明公布了一种精密提升装置，包括承载板，提升机构，上面板，下面板，驱动装置，其中提升机构由两个以上的提升单元并联组成，所述的提升单元由两个X型桁架通过铰链连接，驱动装置装配在所述的铰链连接处。

其中，装置还包括一个固定装置，固定在下面板上，一个滚动装置，固定在下面板上，一个高度限位机构，固定在承载板的一端。

其中该高度限位机构包括：弹簧、螺母、螺杆，其中弹簧和螺母套在螺杆上，螺母在弹簧的上部，高度限位机构的螺杆的顶部安装有橡胶端盖，橡胶端盖的顶面高于待安装部件的上部安装面，高度限位机构的螺杆顶端安装有一个接近开关。

其中固定装置为真空吸附机构或者螺栓连接固定装置，真空吸附机构包括：气管、弹簧、滑杆、吸附垫、气管，其中，吸附垫安装在滑杆的一端，弹簧套在滑杆上，滑杆固定在下面板上，第一气管和第二气管与滑杆的另一端相连。

其中驱动装置可以是手轮或者电动驱动装置。

其中滚动装置可以是钢珠滚轮机构或者万向脚轮装置。

与现有的技术相比，本发明有以下的优点：

1，体积小，质量小，但是负载大，提升高度大，并且可以灵活移动和旋转；

2，利用真空吸附的方式固定整个精密提升装置，稳定性好，在提升过程中，提升平稳，提升高度值分辨率高，所需力矩小；

3，本装置中还有高度限位机构，能保证提升操作过程的安全性；

4，应用范围广，可以实现对多个部件的整体安装，通用性强，尤其适用于精密仪器的安装。

附图说明

图1是精密提升装置正视示意图；

图2是精密提升装置仰视示意图；

图3是精密提升装置真空吸附机构示意图；

图4是钢珠滚轮机构示意图

具体实施方式

下面结合附图，对本发明一种精密提升装置作进一步说明：

如图1所示，本发明包括定位块2，承载板4，提升机构6，钢珠滚轮机构16，手轮19，真空吸附机构，高度限位机构。

定位块2利用螺钉3固定在承载板4的两端，承载板4利用螺钉5安装在提升机构6的上面板601上，高度限位机构固定在承载板4的一端。

其中提升机构6由两个以上的提升单元并联组成，所述的提升单元由两个X型桁架通过铰链连接，驱动装置装配在所述的铰链连接处。

其中高度限位机构包括：弹簧23，垫片24，螺母25，螺杆26和橡胶端盖27。橡胶端盖27固定在螺杆的顶端，其中螺母25，垫片24，弹簧23，螺母21顺次连接将螺杆26固定在连接板22上，连接板22通过螺钉20固定在提升机构6的上面板601的一端。其使用方法为：通过调整螺母21和螺母25，使橡胶端盖27的顶面高于待安装部件的上部安装面在提升过程中，通过观察螺母21和螺杆26就可以判断待安装部件是否提升到位。