[发明专利]塑封模具清洗用框架及其清洗塑封模具的方法有效
| 申请号： | 200710046485.8 | 申请日： | 2007-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN101396853A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 舒海波;齐顺增;龚敏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B29C33/72 | 分类号： | B29C33/72 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 塑封 模具 清洗 框架 及其 方法 | ||
1.一种塑封模具清洗用框架清洗塑封模具的方法，其特征在于，包括下列步骤：
将框架主体放置于塑封模具上，所述框架主体采用硬质材料，其上设有至少一个镂空，镂空与塑封模具型腔一一对应，形状相似于塑封模具型腔工作截面形状，且镂空面积小于塑封模具型腔工作截面面积；
从镂空向塑封模具型腔内注入清洗树脂；
软化清洗树脂后再硬化清洗树脂；
将带有清洗树脂的框架主体从塑封模具上移除；
将清洗树脂从镂空内移除。
2.根据权利要求1所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：所述清洗树脂的材料为环氧树脂。
3.根据权利要求2所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：所述软化及硬化清洗树脂的温度为170℃～190℃。
4.根据权利要求3所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：软化清洗树脂所需时间为2秒～20秒。
5.根据权利要求3所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：硬化清洗树脂所需时间为20秒～300秒。
6.根据权利要求1所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：所述框架主体的材料为马口铁。
7.一种塑封模具清洗用框架清洗塑封模具的方法，其特征在于，包括下列步骤：
将框架主体放置于塑封模具上，所述其框架主体采用硬质材料，其上设有至少一个镂空，镂空与塑封模具型腔一一对应，形状与塑封模具型腔工作截面形状一致，所述镂空包括有镂空主体，镂空主体形状相似于塑封模具型腔主体工作截面形状，且镂空主体面积小于塑封模具型腔主体工作截面面积；
从镂空向塑封模具型腔内注入清洗树脂；
软化清洗树脂后再硬化清洗树脂；
将带有清洗树脂的框架主体从塑封模具上移除；
将清洗树脂从镂空内移除。
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