[发明专利]一种半导体制造工艺配方管理方法

权利要求书

1.一种半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于该方法在工厂自动化系统和设备之间进行明确的功能角色划分的基础上，依照如下策略来实现对工艺配方的管理：

A)工厂自动化系统连接一个新设备的策略；

B)工厂自动化系统断开与一个设备的连接的策略；

C)工厂自动化系统要求设备删除其含有的一个工艺配方的策略；

D)工厂自动化系统设计一个工艺配方下发到设备的策略；

E)工厂自动化系统中的一个工艺配方发生变化的策略；

F)工艺配方在多个设备之间自动散发的策略。

2.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于对所述工厂自动化系统的功能角色划分如下：

a)维护一个工艺配方的信息库，记录当前与它连接的设备中含有的工艺配方，包括工艺配方的名字、存储位置、版本信息，而不进行工艺配方的实际存储，工艺配方的名字和版本信息唯一标识了整个系统中的一个工艺配方，而存储位置指定了工艺配方具体存储在哪个设备中；

b)向设备请求一个工艺配方；

c)发送一个工艺配方到设备；

d)可以从设备中删除一个工艺配方。

3.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于对所述设备功能角色划分如下：

a)本地存储的一个工艺配方发生变化后，通知与之相连接的工厂自动化系统；

b)删除工厂自动化系统要求删除的工艺配方；

c)向工厂自动化系统请求一个工艺配方；

d)接收来自工厂自动化系统的一个工艺配方；

e)发送一个工艺配方到工厂自动化系统。

4.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于所述策略A)的具体步骤如下：

a)根据设备的位置信息建立与该设备的连接；

b)获取该设备含有的工艺配方的列表；

c)从工艺配方列表中提取工艺配方名称、版本信息，结合设备的位置信息在工艺配方库中添加记录。

5.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于所述策略B)的具体步骤如下：

a)获取断开连接设备的位置信息；

b)从工艺配方库中删除所有该位置信息的工艺配方记录。

6.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于所述策略C)的具体步骤如下：

a)向设备发送删除一个工艺配方的命令；

b)从工艺配方库中删除该工艺配方的记录。

7.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于所述策略D)的具体步骤如下：

a)工厂自动化系统发送一个工艺配方到设备；

b)设备接收该工艺配方并存储；

c)工厂自动化系统更新其工艺配方库，记录设备已经含有该工艺配方。

8.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于所述策略E)的具体步骤如下：

a)接收到设备关于一个工艺配方发生变化的通知；

b)根据设备位置信息和工艺配方名字信息在工艺配方库中查询有无记录，如果有，更新这条记录的版本信息，如果没有在工艺配方库中添加记录，版本信息赋值为版本1。

9.如权利要求1所述的半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于所述策略F)的具体步骤如下：

a)设备A向工厂自动化系统请求一个工艺配方；

b)工厂自动化系统从工艺配方库中查询是否有该工艺配方，如果有的话得到其的存储位置，这里假设为设备B；

c)工厂自动化系统向存储该工艺配方的设备B中请求该工艺配方；

d)设备B从本地提取该工艺配方并向工厂发送；

e)工厂接收工艺配方并将其发送到设备A；

f)设备A接收该工艺配方并保存；

g)工厂在工艺配方库中添加一条记录，记录设备A也存储该工艺配方。