[发明专利]一种半导体制造工艺配方管理方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工厂自动化技术领域，尤其涉及一种半导体制造工艺配方管理的方法。

背景技术

半导体制造业是一个高科技行业，也是一个高投资的行业。半导体制造工厂为了实现其运营目标，提高生产力，其生产管理活动的自动化程度越来越高，其中对半导体制造设备管理的自动化尤其重要。图1是实现设备管理自动化的软件架构图。

如图所示，半导体制造设备通常是集群设备。半导体标准中给集群设备所下的定义是：由物理上连接在一起的，可以用来处理不同工艺模块和传输模块的集成制造系统。每一个工艺模块和传输模块都由相应的控制进行控制，而这些模块控制器通过接口模块连接成一个有机的整体。

半导体制造设备的控制系统主要包含三大子系统：集群设备控制系统、传输控制系统和工艺模块控制系统。其中集群设备控制系统负责管理和协调传输控制系统和工艺模块控制系统，其主要功能是执行工艺任务，并维护与任务相关的工艺流程；一个任务就是将材料从源片盒送入一个或多个工艺反应腔室中，经过工艺处理，再传送到目的片盒的过程。传输控制系统主要负责控制传输模块及相关模块的操作。工艺模块控制系统主要负责控制工艺模块的相关操作。传输控制系统和工艺模块控制系统都通过I/O通道实现对相连受控器件的控制。

工厂自动化系统通过特定的通讯协议和半导体制造设备的通讯，以实现对半导体制造设备的控制。这里的通讯协议是对SEMI相关标准的实现，以符合业界规范。

在半导体制造过程中，工艺配方是一个重要的因素，它记录了如何加工原材料以生产出工厂想要的产品。因此在整个工厂自动化系统中，对工艺配方的管理占有相当的比重。从图1可以看出，对工艺配方的管理需要由工厂自动化系统和设备共同完成。而在目前的实现中，这两个系统都在本地有独立的工艺配方存储，两个系统的交互只是集中在工艺配方的传递上，在整体上没有一个统一的策略。这就可能造成存储空间浪费、两地工艺配方不同步，管理复杂等问题。

本发明就是为了解决上述问题而提出的。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体制造工艺配方管理方法，在工厂自动化系统和设备之间制定一个统一的工艺配方管理策略，提高管理效率。

为了实现统一工艺配方管理的目的，首先需要在工厂自动化系统和设备之间进行明确的角色划分。

1)工厂自动化系统进行工艺配方的集中管理，具体功能包括：

a)维护一个工艺配方的信息库，记录当前与它连接的设备中含有的工艺配方，包括工艺配方的名字、存储位置、版本信息，而不进行工艺配方的实际存储。工艺配方的名字和版本信息唯一标识了整个系统中的一个工艺配方，而存储位置指定了工艺配方具体存储在哪个设备中。

b)向设备请求一个工艺配方。

c)发送一个工艺配方到设备。

d)可以从设备中删除一个工艺配方。

2)设备进行工艺配方的实际存储，具体功能包括：

a)本地存储的一个工艺配方发生变化后，通知与之相连接的工厂自动化系统。

b)删除工厂自动化系统要求删除的工艺配方。

c)向工厂自动化系统请求一个工艺配方。

d)接收来自工厂自动化系统的一个工艺配方。

e)发送一个工艺配方到工厂自动化系统。

在上述角色划分的基础上，制定一系列策略来实现对工艺配方有效的管理，这些策略以工厂自动化系统和设备提供的功能为基础。

1)工厂自动化系统连接一个新的设备。

a)根据设备的位置信息建立与该设备的连接。

b)获取该设备含有的工艺配方的列表。

c)从工艺配方列表中提取工艺配方名称、版本信息，结合设

备的位置信息在工艺配方库中添加记录。

2)工厂自动化系统断开与一个设备的连接。

a)获取断开连接设备的位置信息。

b)从工艺配方库中删除所有该位置信息的工艺配方记录。

3)工厂自动化系统要求设备删除其含有的一个工艺配方。

a)向设备发送删除一个工艺配方的命令。

b)从工艺配方库中删除该工艺配方的记录。

4)工厂自动化系统设计一个工艺配方下发到设备。

a)工厂自动化系统发送一个工艺配方到设备。

b)设备接收该工艺配方并存储。

c)工厂自动化系统更新其工艺配方库，记录设备已经含有该工艺配方。

5)工厂自动化系统中的一个工艺配方发生变化。

a)接收到设备关于一个工艺配方发生变化的通知。