[发明专利]高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法

权利要求书

1. 一种高纯氧化锌的化学气相沉积装置，其特征在于，包括：

一气相沉积反应室，该气相沉积反应室的上部有一尾气出口；

一锌舟，该锌舟由支架固定在气相沉积反应室内，该锌舟的上部为氧化锌的沉积区域；

一恒温槽，该恒温槽内装有去离子水；

一阀门，该阀门分别与气相沉积反应室的下部和恒温槽的上部相连接。

2. 根据权利要求1所述的高纯氧化锌的化学气相沉积装置，其特征在于，其中所述的阀门为三通阀门。

3. 根据权利要求1所述的高纯氧化锌的化学气相沉积装置，其特征在于，其中所述的锌舟内装有锌源。

4. 根据权利要求3所述的高纯氧化锌的化学气相沉积装置，其特征在于，其中所述的锌源为锌颗粒或锌粉。

5. 根据权利要求1所述的高纯氧化锌的化学气相沉积装置，其特征在于，其中所述的恒温槽还包括：一载气通道，其一端伸入到恒温槽中的去离子水中。

6. 根据权利要求5所述的高纯氧化锌的化学气相沉积装置，其特征在于，其中所述的载气通道伸入到恒温槽中的去离子水中的一端为伞状，该伞状的壁面上有鼓泡孔。

7. 一种高纯氧化锌的化学气相沉积制备方法，其是采用权利要求1所述的装置，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：将锌源置于锌舟中，装入气相沉积反应室，加热，以产生锌蒸气；

步骤2：将去离子水置入恒温槽中，加热，以产生水蒸气；

步骤3：向气相沉积反应室中通入水蒸气，在锌舟的上部锌蒸气和水蒸气发生化学气相沉积反应生成高纯氧化锌。

8. 根据权利要求7所述的高纯氧化锌的化学气相沉积制备方法，其特征在于，其中所述的锌舟的加热温度范围为：500-850℃。

9. 根据权利要求7所述的高纯氧化锌的化学气相沉积制备方法，其特征在于，其中所述的恒温槽的加热温度范围为：40-100℃。