[发明专利]搅动式湿制程机台及搅动式湿制程无效
| 申请号： | 200710078847.1 | 申请日： | 2007-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN101247700A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张世昌 | 申请（专利权）人： | 和旺昌喷雾股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/02 | 分类号： | H05K3/02;C23F1/08;G03D5/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 搅动 式湿制程 机台 | ||
1. 一种搅动式湿制程机台，其特征在于，包含：
一输送系统，所述输送系统包含多个具有叶片的滚轮，所述滚轮位于所述输送系统的输送路径的上侧与下侧，用于带动待加工物并搅动一化学药剂；以及
多个喷嘴，位于所述输送路径的上方或下方，用于喷洒或补充所述化学药剂于所述待加工物上。
2. 如权利要求1所述的湿制程机台，其特征在于，每一所述滚轮的叶片数为六。
3. 如权利要求1所述的湿制程机台，其特征在于，所述叶片外型为直立式。
4. 如权利要求1所述的湿制程机台，其特征在于，所述叶片外型为弧形。
5. 如权利要求1所述的湿制程机台，其特征在于，所述叶片与所述待加工物的表面间具有一间隙。
6. 如权利要求1所述的湿制程机台，其特征在于，所述喷嘴位于所述滚轮之间或者所述滚轮之上。
7. 一种搅动式湿制程机台，其特征在于，包含：
一输送系统，所述输送系统包含多个具有叶片的滚轮，位于所述输送系统的输送路径的上侧与下侧，用于带动所述输送路径上的待加工物并搅动化学药剂，所述叶片和所述待加工物的表面间具有一间隙；以及
多个喷嘴，位于所述输送路径的上方或下方，用于补充所述化学药剂于所述待加工物上。
8. 如权利要求7所述的湿制程机台，其特征在于，所述喷嘴位于所述滚轮之间或者所述滚轮之上。
9. 一种搅动式湿制程，其特征在于，使用如权利要求1所述的湿制程机台，包含：
输送多个待加工物于多个喷嘴下；
喷洒一化学药剂以蚀刻所述待加工物；以及
搅动所述化学药剂以提升蚀刻效率。
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