[发明专利]正型光阻剂

权利要求书

1. 一种正型光阻剂，其包含树脂、添加剂和溶剂，其中该溶剂包含至少两种具有不同沸点的溶剂。

2. 如权利要求1所述的正型光阻剂，其中该树脂的分子量低于10000。

3. 如权利要求1所述的正型光阻剂，其中该树脂为酚醛树脂(novolacresin)。

4. 如权利要求1所述的正型光阻剂，其中该添加剂为中性界面活性剂，其分子量大于500，其中该中性界面活性剂为含硅的界面活性剂、或含氟的界面活性剂、或含碳的界面活性剂。

5. 如权利要求1所述的正型光阻剂，其中该二种不同沸点的溶剂差异大于或等于10℃。

6. 如权利要求5所述的正型光阻剂，其中该二种不同沸点的溶剂中一种为高沸点溶剂，其沸点大于155℃，一种为低沸点溶剂，其沸点小于150℃。

7. 如权利要求6所述的正型光阻剂，其中该低沸点溶剂是烷酯类溶剂或醚酯类溶剂；该高沸点溶剂是烷酮类溶剂或醚酮类溶剂。

8. 如权利要求7所述的正型光阻剂，其中该烷酯类溶剂为直链烷酯类或环烷酯类。

9. 如权利要求7所述的正型光阻剂，其中该烷酮类溶剂为直链烷酮类或环烷酮类。

10. 如权利要求1所述的正型光阻剂，其中高沸点溶剂的重量百分比大于等于3％。

11. 如权利要求1所述的正型光阻剂，其中该溶剂由直链型烷酯类溶剂及直链型醚乙酯类溶剂及环烷酮类溶剂组成、或由直链型醚乙酯类溶剂及环烷酮类溶剂组成、或由直链型醚乙酯类溶剂及环烷酮类溶剂及直链型醚丙酯类溶剂组成、或由直链型醚乙酯类溶剂及直链型醚丙酯类溶剂组成、或由直链型烷酯类溶剂，直链型醚乙酯类溶剂及直链型醚丙酯类溶剂组成。