[发明专利]显示装置制造系统

权利要求书

1.一种显示装置制造系统，其特征在于，包括：

工作腔室，在其内部利用工作流体去除形成在显示面板上的工作层中多余部分；

浮游物过滤单元，其接收工作腔室所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中、并由所述工作层产生的浮游物；

过滤装置，其接收浮游物过滤单元所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中的所述工作层成分；

流体储存槽，其用于储存通过过滤装置滤除工作层成分后的工作流体。

2.根据权利要求1所述的显示装置制造系统，其特征在于：

所述浮游物过滤单元包括：

箱体，其内部形成有主腔室；

过滤器，其安装在所述主腔室内，且内部形成有辅助腔室，且其表面上形成有至少两个网眼；

流入管，其用于将从工作腔室排出的含有浮游物的工作流体导入所述辅助腔室；

流出管，其用于将通过过滤器的工作流体导入过滤装置；

排出单元，其用于将未通过过滤器的浮游物排放到外部。

3.根据权利要求2所述的显示装置制造系统，其特征在于：

所述排出单元包括：

刷子，其与过滤器内表面可接触地装配；

驱动装置，其用于驱动刷子，而刷子则用于去除蓄积在过滤器内表面的浮游物；

排出管，其用于将从过滤器内表面被刷落的浮游物排放到外部。

4.根据权利要求3所述的显示装置制造系统，其特征在于：

所述过滤器为圆筒状；

所述驱动装置为旋转电动机，且位于箱体的一端；

所述排出管位于箱体的另一端；

所述刷子为螺旋状，其用于将从过滤器内表面被刷落的浮游物移送到排出管。

5.根据权利要求3所述的显示装置制造系统，其特征在于，

所述排出单元进一步包括：

检测装置，其用于测出蓄积在过滤器内表面的浮游物清除时机；

控制装置，其根据检测装置测得的数据来控制驱动装置。

6.根据权利要求5所述的显示装置制造系统，其特征在于，

所述检测装置为安装在流出管上的流量传感器。

7.根据权利要求6所述的显示装置制造系统，其特征在于，

所述控制装置包括根据设定程序运行的至少一个微处理器，

所述设定程序执行以下步骤：

比较由所述流量传感器所测得的流量和设定流量，

当所述流量大于设定流量时启动所述驱动装置。

8.根据权利要求7所述的显示装置制造系统，其特征在于，

所述排出单元进一步包括安装在排出管上的阀门，所述阀门用于防止浮游物通过排出管随时被排放到外部，

所述设定程序进一步执行以下步骤：

从所述驱动装置被启动起预定时间以后打开阀门。

9.根据权利要求2所述的显示装置制造系统，其特征在于，

所述工作腔室为剥离腔室，其用于从蒸镀膜层剥离已完成显影的光致抗蚀剂；

所述工作流体为剥离液；

所述浮游物是未被剥离液溶解而残存的光致抗蚀剂微粒。

10.根据权利要求9所述的显示装置制造系统，其特征在于，

所述过滤器由不锈钢材料制成。