[发明专利]显示装置制造系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种显示装置制造系统，尤其涉及一种能够有效地过滤工作流体中浮游物的系统。

背景技术

目前广泛使用的显示装置，具体有液晶显示器、有机发光二极管显示器等各种装置。

其中，所述液晶显示装置由形成有电场产生电极的两块显示基板及夹在所述基板之间的液晶层构成。其通过向电极施加电压，重新排列液晶层的液晶分子，从而调节透过液晶层的光线穿透率。

制造这种液晶显示装置需经过对基板进行蒸镀(deposition)、清洗(cleaning)、涂覆光致抗蚀剂(photo resist coating)、曝光(exposure)、显影(development)、蚀刻(etching)、以及剥离光致抗蚀剂(photo resiststrip)等一系列工序。

其中，所述光致抗蚀剂分为正性和负性光致抗蚀剂。具体来说，为防止经过曝光工序图形化的光致抗蚀剂在随后的显影工序中被显影液剥落，在高温下，所述正性光致抗蚀剂则在其中未曝光部分被硬化，而所述负性光致抗蚀剂则在其中曝光部分被硬化。

另外，用于剥离图形化光致抗蚀剂的系统，包括：

剥离腔室，其用于接纳显示基板；

注入器，其用于向剥离腔室内注入剥离液，而所述剥离液用于溶解显示基板上的图形化光致抗蚀剂；

过滤装置，其用于过滤从剥离腔室排出的剥离液中光致抗蚀剂成分；以及

储存槽，其用于储存已滤除光致抗蚀剂成分的剥离液。

但是，现有的制造系统存在以下缺陷。

为了防止经曝光工序图形化的光致抗蚀剂在后续显影工序中被显影液剥落，在高温下对光致蚀刻剂层进行硬化处理，因此图形化的光致抗蚀剂的溶解性降低，而热特性、耐化学性等性能会大幅提高。由此，剥离时间将会延长，且在剥离过程中，剥离液中将会悬浮几μm至几百μm大小的光致抗蚀剂微粒。

由于所述浮游物的堵塞将会缩短过滤装置的使用寿命。因此，需要经常更换价格昂贵的过滤装置，这将导致费用的大幅增加。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种在通过过滤装置过滤工作流体之前除去流体中浮游物的显示装置制造系统。

本发明的显示装置制造系统，包括：

工作腔室，在其内部利用工作流体去除形成在显示面板上的工作层中多余部分；

浮游物过滤单元，其接收工作腔室所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中、并由所述工作层产生的浮游物；

过滤装置，其接收浮游物过滤单元所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中的所述工作层成分；

流体储存槽，其用于储存通过过滤装置滤除工作层成分后的工作流体。

而且，所述浮游物过滤单元包括：

箱体，其内部形成有主腔室；

过滤器，其安装于主腔室内，且内部形成有辅助腔室，且其表面上形成有至少两个网眼；

流入管，其用于将从工作腔室排出的含有浮游物的工作流体导入辅助腔室；

流出管，其用于将通过过滤器的工作流体导入过滤装置；

排出单元，其用于将未通过过滤器的浮游物排放到外部。

另外，所述排出单元还包括：刷子，其与过滤器内表面可接触地装配；驱动装置，其用于驱动刷子，以去除蓄积在过滤器内表面上的浮游物；排出管，其用于将从过滤器内表面上被刷子刷落的浮游物排放到外部。

此外，过滤器呈圆筒状，而驱动装置为旋转电动机，且安装在箱体的一端，排出管则安装在箱体的另一端，而且刷子可以是螺旋状，用于将从过滤器内表面被刷落的浮游物移送至排出管。

而且，排出单元可进一步包括：检测装置，其用于测出蓄积在过滤器内表面上的浮游物清除时机；控制装置，其根据检测装置测得的数据来控制驱动装置。

另外，检测装置还可以是安装在流出管上的流量传感器。

而且，控制装置还可以包括根据设定程序运行的至少一个微处理器，且设定程序可执行以下步骤：

比较由所述流量传感器所测得的检测流量与设定流量，及

当所述检测流量大于所述设定流量时启动驱动装置。

此外，为防止浮游物通过排出管随时被排出到外部，排出单元可进一步包括阀门，而所述设定程序可进一步执行，从所述驱动装置被启动起预定时间之后打开阀门的步骤。

另外，所述工作腔室可以是用于将已完成显影的光致抗蚀剂从蒸镀膜剥离的腔室，而工作流体可以为剥离液，浮游物则可以是未被剥离液溶解而残存的光致抗蚀剂颗粒。

此外，过滤器可由不锈钢材料制成。