[发明专利]扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台有效
| 申请号： | 200710094257.8 | 申请日： | 2007-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN101441970A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 裘莺 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 硅片 样品 观察 | ||
1.一种扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，包括底座和与底座相配合的放置样品的平台，其特征在于，放置样品的平台表面设有与平台表面成15度至90度的活动槽，该活动槽设有调节活动槽宽度的活动槽宽度调节装置。
2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，所述的与平台表面成15度至90度的活动槽有多个。
3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，活动槽宽度调节装置为设置在每条活动槽底部、内置螺丝且带有螺纹的小孔。
4.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，活动槽底部有两个小孔，且小孔之间间隔为16mm。
5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，活动槽将放置样品的平台表面分为多个区域，并以字母或者数字区分平台表面的不同区域。
6.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，活动槽与平台表面成23度。
7.根据权利要求1或5所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，活动槽的槽深度为0.3mm，槽宽1mm。
8.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，两条活动槽之间间隔7mm。
9.根据权利要求1或5所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，放置样品的平台长50mm，宽40mm，厚8mm。
10.根据权利要求1或5所述的扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，其特征在于，样品台为金属材质。
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