[发明专利]流体混合装置有效
申请号: | 200710094557.6 | 申请日: | 2007-12-13 |
公开(公告)号: | CN101455948A | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 秦志涛;王伟 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B01F3/08 | 分类号: | B01F3/08;B01F15/04;C23F1/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李 丽 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流体 混合 装置 | ||
1.一种流体混合装置,包括顺序流体连接的缓冲槽、计量装置和混合槽,其特征在于:还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置;
其中,所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接,第二端与所述缓冲槽输入端流体连接,第三端与所述第二三通装置的第一端流体连接;
所述第二三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接,第三端与所述第三三通装置的第一端流体连接;
所述第三三通装置的第二端与所述缓冲槽输入端流体连接,第三端和第二流体供给源连接。
2.如权利要求1所述的流体混合装置,其特征在于:所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置为三通阀。
3.如权利要求1所述的流体混合装置,其特征在于:所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置由第一单通阀、第二单通阀和第三单通阀组成;其中,所述第一单通阀的一端、第二单通阀的一端和第三单通阀的一端连接在一起,另一端分别为每一三通装置的第一端、第二端和第三端。
4.如权利要求1所述的流体混合装置,其特征在于:所述第一三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成,其中第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起,作为所述第一三通装置的第一端,所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第一三通装置的第二端和第三端。
5.如权利要求1所述的流体混合装置,其特征在于:所述第二三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成,其中第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起,作为所述第二三通装置的第二端,所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第二三通装置的第一端和第三端。
6.如权利要求1所述的流体混合装置,其特征在于:所述第三三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成,其中第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起,作为所述第三三通装置的第二端,所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第三三通装置的第一端和第三端。
7.如权利要求2至6任一权利要求所述的流体混合装置,其特征在于:所述三通阀和/或单通阀为气动阀或电子阀或机械阀。
8.如权利要求1所述的流体混合装置,其特征在于:所述第二三通装置的第二端与混合槽的之间有计量装置。
9.如权利要求1或8所述的流体混合装置,其特征在于:所述计量装置为计量表或计量泵。
10.如权利要求1所述的流体混合装置,其特征在于:所述第一流体和/或第二流体为液体或气体。
11.一种流体混合装置,包括顺序流体连接的缓冲槽、计量装置和混合槽,其特征在于:还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置;
其中,所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接,第二端与所述混合槽输入端流体连接,第三端与所述第二三通装置的第一端流体连接;
所述第二三通装置的第二端与所述缓冲槽输入端流体连接,第三端与所述第三三通装置的第一端流体连接;
所述第三三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接,第三端用于和第二流体供给源连接。
12.如权利要求11所述的流体混合装置,其特征在于:所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置为三通阀。
13.如权利要求11所述的流体混合装置,其特征在于:所述第一三通装置、第二三通装置和/或第三三通装置由第一单通阀、第二单通阀和第三单通阀组成;其中,所述第一单通阀的一端、第二单通阀的一端和第三单通阀的一端连接在一起,另一端分别为每一三通装置的第一端、第二端和第三端。
14.如权利要求11所述的流体混合装置,其特征在于:所述第一三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成,其中第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起,作为所述第一三通装置的第二端,所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第一三通装置的第一端和第三端。
15.如权利要求11所述的流体混合装置,其特征在于:所述第二三通装置由第一单通阀和第二单通阀组成,其中第一单通阀和第二单通阀的一端连接在一起,作为所述第二三通装置的第二端,所述第一单通阀和第二单通阀的另一端分别作为该第二三通装置的第一端和第三端。
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